[发明专利]铝化合物和使用该铝化合物形成含铝膜的方法

权利要求书

1.一种含铝化合物，其由以下化学式1表示：

[化学式1]

其中，在上述化学式1中，

R¹至R³各自独立地为具有1至5个碳原子的直链或支链烷基基团，并且

R⁴和R⁵各自独立地为氢或含有具有1至6个碳原子的直链或支链烷基基团的烷基氨基基团。

2.根据权利要求1所述的化合物，

其中，所述含铝化合物由以下化学式2表示：

[化学式2]

其中，在上述化学式2中，

R¹和R²各自独立地为具有1至5个碳原子的直链或支链烷基基团，并且

R³为具有4或5个碳原子的直链或支链烷基基团；

3.根据权利要求1所述的化合物，

其中，所述含铝化合物由以下化学式3表示：

[化学式3]

其中，在上述化学式3中，

R¹至R³各自独立地为具有1至5个碳原子的直链或支链烷基基团，并且

R⁶至R⁹各自独立地为具有1至3个碳原子的直链或支链烷基基团。

4.根据权利要求2所述的化合物，

其中，R¹和R²各自独立地为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、仲戊基、叔戊基、新戊基或3-戊基，并且

R³为异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、仲戊基、叔戊基、新戊基或3-戊基。

5.根据权利要求3所述的化合物，

其中，R¹至R³各自独立地为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、仲戊基、叔戊基、新戊基或3-戊基，并且

其中，R⁶至R⁹各自独立地为甲基、乙基、正丙基或异丙基。

6.根据权利要求2所述的化合物，

其中，所述含铝化合物为H₂Al[N^tBu(CH₂)₃NMe₂]、H₂Al[NⁱBu(CH₂)₃NMe₂]、H₂Al[N^secBu(CH₂)₃NMe₂]、H₂Al[N^neoPe(CH₂)₃NMe₂]、H₂Al[N^tBu(CH₂)₃NEtMe]或H₂Al[N^tBu(CH₂)₃NEt₂]。