[发明专利]特别是用于配气机构系统的部件以及生产这种部件的方法

权利要求书

1.一种部件(100)，特别是用于配气机构系统的部件，所述部件包括衬底(3)和至少部分地施加到所述衬底(3)上的层系统(1)，其中所述层系统(1)包括用于形成部件表面的减少摩擦和减少磨损的保护层(2)，其中所述保护层(2)具有由掺杂的四面体非晶碳制成的至少一个第一子层(4，4a)，所述掺杂的四面体非晶碳包含摩尔分数为至少50％的sp³杂化碳，其中所述第一子层(4，4a)包含浓度为0.1原子％～3.0原子％的氧和浓度为0.1原子％～15原子％的氢，并且其中所述第一子层(4，4a)具有浓度为0.03原子％～15原子％的以下掺杂物中的一种或多种掺杂物：铬、钼、钨、硅、铜、铌、锆、钒、镍、铁、银、铪、氟、硼、以及氮。

2.根据权利要求1所述的部件(100)，其中所述层系统(1)具有粘合层(6)，其中所述粘合层(6)布置在所述衬底(3)与所述保护层(2)之间，并且其中所述粘合层(6)具有铬和/或钛和/或钨和/或锆和/或钼和/或氮化铬和/或氮化钛和/或氮化钨和/或氮化钼和/或氮化锆。

3.根据权利要求2所述的部件(100)，其中所述粘合层(6)具有在从0.001μm至2.0μm范围内的层厚度。

4.根据权利要求2或3中任一项所述的部件(100)，其中所述层系统(1)具有中间层(7)，其中所述中间层(7)布置在所述粘合层(6)与所述保护层(2)之间并且具有金属或过渡金属和/或非金属的至少一种碳化物和/或碳氮化物。

5.根据权利要求4所述的部件(100)，其中所述中间层(7)具有在从0.001μm至1.0μm范围内的层厚度。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的部件(100)，其中所述保护层(2)具有由所述掺杂的四面体非晶碳制成的一个或多个第一子层(4，4a)，并且还具有由未掺杂的四面体非晶碳制成的一个或多个第二子层(5)，其中所述第一子层和所述第二子层(4，4a；5)彼此交替。

7.根据前述权利要求中任一项所述的部件(100)，其中所述保护层(2)具有大于40GPa的硬度。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的部件(100)，其中所述部件是滑动轴承部件或滚柱轴承部件，或者指轮从动件或摇臂或泵挺杆或滚柱挺杆的部件。

9.根据权利要求8所述的部件(100)，其中所述层系统(1)与相邻接触部件的接触方式为滚动接触和/或减摩接触和/或滑动接触。

10.一种用于生产根据权利要求1至9中任一项所述的部件(100)的方法，其中施加由掺杂的四面体非晶碳制成的所述至少一个第一子层(4，4a)，因为所述第一子层(4，4a)是通过借助于电弧蒸发而进行的物理气相沉积和/或高功率脉冲磁控溅射来施加，其中所述至少一种掺杂物经由气相和/或由掺杂的碳制成的靶材被引入到所述至少一个第一子层(4，4a)中和/或所述至少一种掺杂物通过共溅射被引入到至少一个第一子层(4，4a)中。