[发明专利]用于可重复地制备用于玻璃纤维制造的预制件的方法和装置

权利要求书

1.用于制备用于玻璃纤维制造的预制件的方法，包括以下步骤：

a1)提供至少两个具有相同或不同温度的含有氧气的载气流，和

a2)加热和/或冷却至少一个载气流，使得所述至少两个载气流具有不同的温度，

a3)将所述至少两个载气流引入混合单元中，其中所述混合单元布置在温度可控单元中，其中两个载气流的每个均由一个质量流控制器控制，并且产生具有精确设定温度T1的混合载气流，该温度T1低于输送温度，其中所述输送温度对应于从步骤(b)的气化器出口到步骤(d)的混合室的装载载气流的输送路径上的装载载气流的最低温度值，

b)将来自步骤(a3)的具有载气温度T1的载气流引入到气化器系统中，所述气化器系统包括具有温度T2的气化器液体和至少一种预制件前体、气化器入口和气化器出口，

c)通过使所述载气流通过所述气化器液体，在所述气化器系统中使所述载气流装载有至少一种预制件前体，其中所述装载的载气流在气化器出口处具有温度T3，

d)将来自步骤(c)的装载的载气流与一种或多种附加气体在混合室中进行混合以获得混合气体流，其中装载的载气流的输送温度必须不下降到低于露点，以及

e)使用来自步骤(d)的所述混合气体流，在包含基管的反应室中制备用于玻璃纤维制造的预制件。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述步骤(a1)中的所述至少两个载气流具有相同的温度T0。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述载气温度T1被调节为具有+/-0.1℃的精度。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述载气温度T1小于或等于T2。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，通过对所述载气流进行主动或被动冷却来获得温度T0，其中所述载气流是在催化氧化单元中产生的。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述装载的载气流在所述气化器出口之后通过加热的管道系统被传输到所述混合室。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，附加气体是装载有至少一种另外的预制件前体的载气流。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，附加气体是装载有至少一种另外的预制件前体的载气流，其中该装载的载气流已经通过应用方法步骤(a)和(b)，使用具有温度T2'的气化器液体和至少一种另外的预制件前体而生成。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，另外的预制件前体选自SF₆、BCl₃、GeCl₄和POCl₃。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，步骤(a)中的所述载气是在催化氧化单元中产生的，并且在步骤(a)中升高或降低温度之前进行降压。

11.根据权利要求1所述的方法，其中，含有氧气、卤化物蒸气和一种或多种附加气体的所述混合气体流在所述混合室之后通过加热的管道系统被传输到具有基底的所述反应室。

12.根据权利要求1所述的方法，其中，所述载气温度T1小于T3。