[发明专利]通过化学气相渗透使多孔环形衬底致密化的方法有效

专利信息
申请号: 201980051768.2 申请日: 2019-07-24
公开(公告)号: CN112567067B 公开(公告)日: 2022-05-24
发明(设计)人: 弗兰克·拉莫鲁;雷米·杜邦;威廉·罗斯 申请(专利权)人: 赛峰集团陶瓷
主分类号: C23C16/04 分类号: C23C16/04;C23C16/458;C23C16/46;C04B35/83;C23C16/455;C04B41/45
代理公司: 中国商标专利事务所有限公司 11234 代理人: 桑丽茹
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 通过 化学 渗透 多孔 环形 衬底 致密 方法
【权利要求书】:

1.一种通过化学气相渗透使环形多孔衬底致密化的方法,所述方法至少包括以下步骤:

-提供多个单元模块,每个单元模块包括支撑板,所述支撑板上形成有环形多孔衬底的叠堆,所述支撑板包括与由堆叠的衬底的中心通道形成的内部体积连通的中心进气开口和环绕该中心进气开口成角度地分布的排气开口,以及环绕衬底的叠堆设置的热质量圆筒,所述热质量圆筒具有与所述支撑板一体的第一端部,以及第二自由端,

-在致密化炉的腔室中形成单元模块的叠堆,每个叠堆包括堆叠在第一单元模块上的至少一个第二单元模块,所述第二单元模块的支撑板停靠在第一单元模块的热质量圆筒的第二自由端上,所述第二单元模块的中心进气开口连通所述第一单元模块的衬底的叠堆的内部体积,并且所述第二单元模块的排气开口连通所述第一单元模块的衬底的叠堆的外部体积,以及

-将气相喷射到单元模块的叠堆内,所述气相包括将被沉积在衬底的孔隙内的基体材料的气体前体。

2.根据权利要求1所述的方法,其中,每个热质量圆筒由石墨制成。

3.根据权利要求1所述的方法,其中,每个单元模块包括在所述多孔衬底之间的垫片,每个垫片都在衬底的叠堆的内部体积和衬底的叠堆的外部体积之间提供泄漏通道。

4.根据权利要求1所述的方法,其中,每个支撑板呈圆形,并且其直径为所述环形多孔衬底的外径的110%到120%之间。

5.根据权利要求1所述的方法,其中,为了在单元模块的支撑板上形成环形多孔衬底的叠堆,将装填装置的臂通过支撑板的排气开口插入到单元模块内,衬底的叠堆形成在插入到单元模块内的臂的端部上,并且从单元模块移除该臂,从而使因此形成的叠堆沉积在支撑板上。

6.根据权利要求1所述的方法,其中,由耦合到感应器的感受器界定所述致密化炉的腔室。

7.根据权利要求1所述的方法,其中,每个环形多孔衬底包含碳。

8.根据权利要求1所述的方法,其中,每个环形多孔衬底构成用于制动盘的纤维预制件。

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