[发明专利]对称的前体输送

权利要求书

1.一种用于处理室的气体输送系统，其包括：

用于将第一化学品输送到所述处理室的第一通道和用于将第二化学品输送到所述处理室的第二通道，所述第一通道具有第一出口阀，而所述第二通道具有第二出口阀；

连接到所述第一通道和所述第二通道两者的涓流惰性气体源；

耦合到所述第一出口阀的第一接头和耦合到所述第二出口阀的第二接头；和

公共导管，其连接在所述第一接头和所述第二接头之间，并且所述第一接头具有连接到推压气体源的输入端，而所述第二接头具有连接到所述处理室的输出端；

其中，在操作期间，每次让所述第一化学品流过的所述第一通道或让所述第二化学品流过的所述第二通道中的一者处于运行状态，其中所述第一通道或所述第二通道中的非运行通道和运行通道使涓流惰性气体从所述涓流惰性气体源流到所述第一接头和所述第二接头，并且其中当所述第一化学品或所述第二化学品通过所述第一通道或所述第二通道输出时，所述推压气体源使推压惰性气体流入所述第一接头，流过所述公共导管并且从所述第二接头流出到达所述处理室。

2.根据权利要求1所述的气体输送系统，其中，所述第一通道包括第一安瓿，所述第一安瓿具有用于从第一化学品源接收所述第一化学品的第一入口和用于从所述涓流惰性气体源接收所述涓流惰性气体的第二入口，以及

其中所述第二通道包括第二安瓿，所述第二安瓿具有用于从第二化学品源接收第二化学品的第一入口和用于从所述涓流惰性气体源接收所述涓流惰性气体的第二入口。

3.根据权利要求2所述的气体输送系统，其中，所述第一通道还包括耦合至所述第一安瓿的第一阀块，所述第一阀块具有一个或多个阀，以调节所述第一化学品从所述第一化学品源流入所述第一安瓿中的流动，以及

其中第二通道还包括耦合到所述第二安瓿的第二阀块，所述第二阀块具有一个或多个阀，以调节所述第二化学品从所述第二化学品源流到所述第二安瓿的流动和所述涓流惰性气体从所述涓流气体源流入所述第二安瓿的流动。

4.根据权利要求1所述的气体输送系统，其中，所述第一通道和所述第二通道各自都包括位于所述涓流惰性气体源与所述第一安瓿和所述第二安瓿中的每个之间的涓流控制装置，所述涓流控制装置包括一个或多个阀以调节所述涓流惰性气体从所述涓流惰性气体源流入所述第一安瓿和所述第二安瓿内的流动。

5.根据权利要求2所述的气体输送系统，其中，所述第一安瓿和所述第二安瓿中的每一个包括耦合至溢出检测器阀的一个或多个水平传感器，所述一个或多个水平传感器被配置为生成传送到所述泄漏检测器阀的指示在相应的所述第一或第二安瓿中的所述第一或第二化学品的水平的信号，

所述溢出检测器阀被配置为控制所述第一或第二化学品流向相应的所述第一或第二安瓿的流动。

6.根据权利要求2所述的气体输送系统，其中，在所述气体输送系统内，所述第一通道和所述第二通道中的每一个的部件彼此对称地定位。

7.根据权利要求1所述的气体输送系统，其中，所述第一通道的布局与所述第二通道的布局匹配。

8.根据权利要求7所述的气体输送系统，其中，所述布局由所述第一通道和所述第二通道中的每一个中的导管的总管线长度、弯头数量、管线宽度以及配件数量限定，并且其中所述导管的所述总管线长度计算为每个管线区段的长度的总和，其中在连续的成对的弯头之间限定管线区段，并且

其中使所述第一通道的所述导管的所述布局与所述第二通道的所述导管匹配包括：使所述总管线长度、所述配件数量、所述弯头数量和所述管线宽度匹配。

9.根据权利要求8所述的气体输送系统，其中，所述第一通道的所述导管的所述总管线长度包括在所述第一接头和所述第二接头之间的所述公共导管的管线区段的长度。

10.根据权利要求1所述的气体输送系统，其中，所述涓流惰性气体流入所述第一通道或所述第二通道中的所述非运行通道中的流动是为了避免其中的死角。