[发明专利]集成有加热器的传感器

权利要求书

1.一种装置，其特征在于，包括：微机电系统(MEMS)传感器管芯，

所述微机电系统传感器管芯包括：

可变形膜；以及

MEMS加热元件，与所述可变形膜集成于同一层且同一平面内；

其中，所述MEMS加热元件设置于所述可变形膜的外周边；

所述MEMS加热元件通过沟槽与所述可变形膜电隔离；

所述MEMS加热元件用于产生热量，以加热所述可变形膜。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述沟槽位于硅层内。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述沟槽内的材料选自氮化硅和硅氧化物构成的组。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：

另一沟槽，所述另一沟槽定位于所述MEMS加热元件的外周边，用于将所述MEMS加热元件与外周层电隔离。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述可变形膜的外周定位于氧化层上，所述可变形膜、所述氧化层和衬底形成一空腔，所述衬底包括形成于所述衬底上表面的电极，所述衬底上表面面向所述空腔内的所述可变形膜。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述MEMS加热元件设置于所述氧化层上。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述MEMS加热元件用于为校准产生热量，以响应偏移温度系数(TCO)。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，响应于触发，执行所述校准。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述MEMS加热元件用于产生热量，以响应检测到所述可变形膜上存在液体。

10.一种具有微机电系统(MEMS)传感器管芯的装置，其特征在于，包括：

可变形膜；

MEMS加热元件，与所述可变形膜集成于同一层且同一平面内，其中，所述MEMS加热元件设置于所述可变形膜的外周，并用于产生热量，以加热所述可变形膜；以及

衬底。

11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，还包括：

另一MEMS加热元件，与所述可变形膜集成于同一层且同一平面内，其中，所述MEMS加热元件与所述另一MEMS加热元件相互分离，所述另一MEMS加热元件设置于所述可变形膜的外周，并用于产生热量，以加热所述可变形膜。

12.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述MEMS加热元件内具有间隙，其中所述MEMS加热元件环绕所述可变形膜，但不完全包围所述可变形膜。

13.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，还包括：

设置于所述MEMS加热元件和所述可变形膜之间的沟槽，其中所述沟槽内的材料选自氮化硅和硅氧化物构成的组。

14.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述可变形膜的外周设置于氧化层上，所述可变形膜、所述氧化层和所述衬底形成一空腔，所述衬底包括形成于所述衬底上表面的电极，所述衬底上表面面向所述空腔内的所述可变形膜，所述MEMS加热元件设置于所述氧化层上。

15.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述可变形膜形成于外周层。

16.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述MEMS加热元件用于在所述MEMS传感器管芯焊接到板上后，为校准产生热量，以响应偏移温度系数(TCO)。