[发明专利]用于柔性覆盖透镜的多层湿法-干法硬涂层在审
申请号: | 201980055267.1 | 申请日: | 2019-07-02 |
公开(公告)号: | CN112601835A | 公开(公告)日: | 2021-04-02 |
发明(设计)人: | 曼尼瓦南·托塔德里;尤哈维;尼尔·莫里森;丹尼尔·保罗·福斯特 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | C23C16/02 | 分类号: | C23C16/02;C23C16/30;C23C16/54;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/56;B05D5/08;B05D5/06;C09D5/00;G06F3/044 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 柔性 覆盖 透镜 多层 湿法 干法硬 涂层 | ||
本文描述的实现方式一般涉及柔性显示装置,并且更具体地涉及柔性覆盖透镜膜。柔性覆盖透镜膜具有改善的强度、弹性、光透射率和耐磨性质,并且含有设置在基板层上的多层硬涂层。基板层具有2μm至100μm的厚度并且多层硬涂层具有1μm至30μm的厚度。多层硬涂层含有使用湿法沉积工艺沉积的第一层、使用干法沉积工艺沉积的第二层和一个或多个粘合促进层。对于光学性质来说,多层硬涂层具有大于88%的总透射率、约1%或更小的雾度和b*l的黄度指数。通过组合湿法和干法沉积工艺以形成多层硬涂层,覆盖透镜膜既是柔性的又是坚固的,其中硬度在4H与9H之间。
技术领域
本文描述的实现方式一般涉及柔性显示装置,并且更具体地涉及柔性覆盖透镜。
背景技术
电子装置通常具有显示器,诸如液晶显示器和有机发光二极管显示器。这种显示器可能易碎并且对湿气、压力或颗粒污染敏感。一般来说,显示装置使用数层光学装置来对来自照明源的光进行彩色化、偏振和遮光。为了防止损坏下面的膜,将刚性显示器覆盖透镜层安装在其他层上方以防止损坏下面的层。包含刚性显示器覆盖透镜会给电子装置增加不期望的重量。可以省去覆盖透镜以减小装置的尺寸和重量,但是省去覆盖透镜可以使显示器易受到刮擦损坏。
目前,对产品的新功能和开发新的和广泛的应用的不断增长的需求要求更薄和更轻的具有诸如柔性之类的新性质的透镜基板。广泛地,对于这些新的柔性或可折叠显示器,覆盖透镜需要三个主要特性:1)光学性能,2)高硬度,3)柔性。具有高光学性能的覆盖透镜确保具有极小雾度的光的高透射率。高硬度涉及耐刮擦性和耐磨性。覆盖镜片的柔性是在于具有足够高的临界应变方面,当反复弯曲和折叠时,避免由于开裂或分层而导致的失效。
传统上,尽管由玻璃制成的覆盖透镜在解决前两个特性(即光学性能和硬度)方面是优异的,但是由于玻璃的脆性,它们在第三特性方面、即在柔性方面是较差的。为了改善这一点,先前已经做出大量努力来增加玻璃失效时的临界应变,这主要是通过减小玻璃的厚度或材料的化学改性来进行的。尽管如此,已经发现玻璃作为覆盖透镜的材料不足以解决所寻求的曲率半径柔性。存在具有高硬度和柔性的其他材料,诸如各种金属,但是所述材料缺乏在使光通过方面所需的光学性能。或者,存在具有高透明度、光学性质和柔性的材料,但是所述材料具有不良的耐磨性或耐刮擦性,诸如基于聚合物的膜。
因此,需要一种具有高硬度、光透射率、弹性和耐磨性质的柔性覆盖透镜。
发明内容
本文描述的实现方式一般涉及柔性显示装置,并且更具体地涉及柔性覆盖透镜膜。柔性覆盖透镜膜具有改善的强度、弹性、光透射率和耐磨性质。柔性覆盖透镜膜包含设置在基板层上的多层硬涂层。基板层具有在2μm至100μm之间的厚度,并且多层硬涂层具有在1μm至10μm之间的厚度。多层硬涂层包含使用湿法沉积工艺沉积的第一层、使用干法沉积工艺沉积的第二层和一个或多个粘合促进层。对于光学性质来说,多层硬涂层具有大于88%的总透射率、约1%或更小的雾度和b*l的黄度指数。通过组合湿法和干法沉积工艺以形成多层硬涂层,覆盖透镜膜既是柔性的又是坚固的,其中硬度在4H与9H之间。
在一个实现方式中,覆盖透镜膜包含厚度在2μm至100μm之间的基板层和设置在基板层上的多层硬涂层。多层硬涂层包含使用湿法沉积工艺沉积的第一层、使用干法沉积工艺沉积的第二层和粘合促进层。多层硬涂层具有在1μm至30μm之间的厚度。多层硬涂层的总透射率大于88%,雾度为约1%或更小,并且黄度指数b*<1。
在另一个实现方式中,覆盖透镜膜包含厚度在2μm至100μm之间的基板层和设置在基板层上的多层硬涂层。多层硬涂层包含使用湿法沉积工艺沉积的第一层、使用干法沉积工艺沉积的第二层、第一粘合促进层和第二粘合促进层。多层硬涂层具有在1μm至30μm之间的厚度。多层硬涂层具有大于88%的总透射率、约1%或更小的雾度和b*<1的黄度指数。
在另一个实现方式中,一种形成覆盖透镜膜的方法包含在基板层上沉积多层硬涂层。多层硬涂层包含使用湿法沉积工艺沉积的第一层、使用干法沉积工艺沉积的第二层和一个或多个粘合促进层。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的