[发明专利]成膜方法

权利要求书

1.一种成膜方法，其是在成膜部对雾进行热处理而进行成膜的成膜方法，其包括：

在雾化部将原料溶液雾化而产生雾的工序；

经由连接所述雾化部和所述成膜部的输送部，通过载气将所述雾从所述雾化部输送至所述成膜部的工序；以及

在所述成膜部对所述雾进行热处理，从而在基体上进行成膜的工序，

当将所述载气的流量设为Q(L/分)、将所述载气的温度设为T(℃)时，以7＜T+Q＜67的方式对所述载气的流量和所述载气的温度进行控制。

2.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，使所述T+Q为17＜T+Q＜57。

3.根据权利要求1或2所述的成膜方法，其特征在于，使所述T+Q为27＜T+Q＜47。