[发明专利]低温泵及低温板

权利要求书

1.一种低温泵，其具备低温板总成，所述低温板总成具备：被排出气体通过低温泵进气口后沿直线路径能够到达的曝露区域、及被排出气体通过所述低温泵进气口后沿直线路径无法到达的非曝露区域，

所述非曝露区域具有能够吸附非冷凝性气体的吸附区域，所述曝露区域被可拆卸的保护面所覆盖。

2.根据权利要求1所述的低温泵，其还具备：

保护层，其由树脂或金属制成，且其可剥离地粘贴于所述曝露区域，从而提供所述可拆卸的保护面。

3.根据权利要求1或2所述的低温泵，其中，

在所述曝露区域层叠有多个保护层。

4.根据权利要求1或2所述的低温泵，其中，

所述低温板总成具备：无法吸附所述非冷凝性气体的第1低温板基材、及无法吸附所述非冷凝性气体的第2低温板基材，

所述第2低温板基材可拆卸地安装于所述第1低温板基材上，从而提供所述可拆卸的保护面。

5.根据权利要求1或2所述的低温泵，其中，

所述非曝露区域的至少一部分被所述可拆卸的保护面所覆盖。

6.根据权利要求1或2所述的低温泵，其还具备：

放射屏蔽件，从所述低温泵进气口沿轴向延伸为筒状，并且配置成包围所述低温板总成；及

制冷机，具备对所述放射屏蔽件进行冷却的高温冷却台及对所述低温板总成进行冷却的低温冷却台，并且所述低温冷却台被冷却至比所述高温冷却台更低的温度。

7.根据权利要求6所述的低温泵，其中，

所述低温板总成具备：多个低温板，均具有所述曝露区域及所述非曝露区域；及多个导热体，沿轴向排列成柱状，

所述多个低温板及所述多个导热体沿轴向层叠。

8.根据权利要求6所述的低温泵，其中，

所述低温板总成具备顶部低温板，所述顶部低温板为所述低温板总成中的在轴向上配置在最上方的低温板，

所述顶部低温板具备第1低温板基材及用于提供所述可拆卸的保护面的第2低温板基材，

所述第2低温板基材以其背面与所述第1低温板基材的正面接触并且覆盖所述第1低温板基材的整个正面的方式可拆卸地安装于所述第1低温板基材。

9.根据权利要求6所述的低温泵，其中，

所述低温板总成具备至少一个上部低温板，所述至少一个上部低温板配置于比所述低温冷却台更靠轴向上方位置，并且具有倒圆锥状的外周部，

被所述可拆卸的保护面所覆盖的所述曝露区域设置于所述倒圆锥状的外周部。

10.根据权利要求6所述的低温泵，其中，

所述低温板总成具备至少一个下部低温板，所述至少一个下部低温板配置于比所述低温冷却台更靠轴向下方位置，

被所述可拆卸的保护面所覆盖的所述曝露区域设置于所述至少一个下部低温板的外周部。