[发明专利]化合物、和包含其的组合物、以及抗蚀图案的形成方法和绝缘膜的形成方法

权利要求书

1.一种组合物，其包含多酚化合物(B)，

所述多酚化合物(B)为选自由下述式(1)所示的化合物和具有下述式(2)所示的结构的树脂组成的组中的1种以上，

式(1)中，R^Y为氢原子、任选具有取代基的碳数1～30的烷基或任选具有取代基的碳数6～30的芳基；

R^Z为任选具有取代基的碳数1～60的N价的基团或单键；

R^T各自独立地为任选具有取代基的碳数1～30的烷基、任选具有取代基的碳数6～30的芳基、任选具有取代基的碳数2～30的烯基、任选具有取代基的碳数2～30的炔基、任选具有取代基的碳数1～30的烷氧基、卤原子、硝基、氨基、羧酸基、交联性基团、解离性基团、硫醇基或羟基，其中，R^T中的至少1者包含交联性基团、解离性基团或羟基，所述烷基、所述芳基、所述烯基、所述炔基、所述烷氧基任选包含醚键、酮键或酯键；

其中，R^Z包含至少2个碘原子；

X为氧原子、硫原子或为无桥接；

m各自独立地为0～9的整数，其中，m中的至少1个为1～9的整数；

r各自独立地为0～2的整数，其中，r中的至少1个为1～2的整数；

N为1～4的整数，其中，N为2以上的整数的情况下，N个[]内的结构式任选相同或不同，

式(2)中，L为任选具有取代基的碳数1～30的亚烷基、任选具有取代基的碳数6～30的亚芳基、任选具有取代基的碳数1～30的亚烷氧基或单键，所述亚烷基、所述亚芳基、所述亚烷氧基任选包含醚键、酮键或酯键；

R^Y为氢原子、任选具有取代基的碳数1～30的烷基或任选具有取代基的碳数6～30的芳基；

R^Z为任选具有取代基的碳数1～60的N价的基团或单键；

R^T各自独立地为任选具有取代基的碳数1～30的烷基、任选具有取代基的碳数6～30的芳基、任选具有取代基的碳数2～30的烯基、任选具有取代基的碳数2～30的炔基、任选具有取代基的碳数1～30的烷氧基、卤原子、硝基、氨基、羧酸基、交联性基团、解离性基团、硫醇基或羟基，其中，R^T中的至少1者包含交联性基团、解离性基团或羟基，所述烷基、所述芳基、所述烯基、所述炔基、所述烷氧基任选包含醚键、酮键或酯键；

其中，R^Z包含至少2个碘原子；

X为氧原子、硫原子或为无桥接；

m各自独立地为0～9的整数，其中，m中的至少1个为1～9的整数；

r各自独立地为0～2的整数，其中，r中的至少1个为1～2的整数；

N为1～4的整数，其中，N为2以上的整数的情况下，N个[]内的结构式任选相同或不同。

2.根据权利要求1所述的组合物，其中，还含有基材(A)，所述基材(A)为选自由苯酚酚醛清漆树脂、甲酚酚醛清漆树脂、羟基苯乙烯树脂、(甲基)丙烯酸类树脂、羟基苯乙烯-(甲基)丙烯酸类共聚物、环烯烃-马来酸酐共聚物、环烯烃、乙烯基醚-马来酸酐共聚物、和具有金属元素的无机抗蚀材料、以及它们的衍生物组成的组中的1种以上。