[发明专利]光学构件及其制造方法

说明书

本发明提供一种能够比较廉价地制造的轻质的光学构件及其有效的制造方法，该光学构件是因温度上升而导致的变形被抑制，且外观颜色被充分黑色化或暗色化的光学构件。本发明的光学构件的特征在于：具有由钛或钛合金构成的基材和形成于该基材的表面的掺碳氧化钛层。掺碳氧化钛层中的碳的含量优选为0.1～15at％。

技术领域

本发明涉及一种要求表面的黑色化或暗色化的光学构件及其制造方法。

背景技术

对于构成数码相机、数码摄像机和带照相机的手机等光学设备的各种光学部件(框架、框架内部的各种支撑部、快门叶片和光圈等)所使用的光学构件而言，除了要求轻质以外，还要求表面的光反射率低，通常使表面的黑色度变高。

另外，对于作为光刻工序中使用的光学部件即防护膜组件用的防护膜框而言，也通过使表面成为黑色或暗色，能够更容易且可靠地进行使用前的异物无附着检査等。即，从检査性的观点考虑，要求防护膜框的表面为黑色或暗色。

另外，也有时在高温环境下保持这些光学部件，当热膨胀所导致的变形较大时，光学部件无法充分表现其性能。特别是，对于曝光装置而言，由于有提高生产率(生产量)的要求，为了增大光源输出或回路线宽度的微细化，进行了曝光光源的短波长化，在作为光路的光学构件中，温度上升所导致的变形成了问题。

目前，由于比重小并且切削加工性良好的原因，作为光学构件可以使用铝，但铝的线膨胀系数高，铝制的光学构件容易因温度上升而发生变形。对此，关于光学构件的原材料，在研究中不仅限于铝，对使用陶瓷或钢等的方案也进行着研究。

例如，在专利文献1(日本特开2016－177120号公报)中公开了一种形成为框形状的防护膜框，该防护膜框由杨氏模量为150GPa以上且维氏硬度为800以上的烧结体构成，框形状的角部确保直线部的宽度以上的宽度，角部中的至少1个的宽度比直线部的宽度宽，该防护膜框为陶瓷、超硬合金或金属陶瓷制。

在上述专利文献1所记载的防护膜框中，使用了高的杨氏模量和维氏硬度的烧结体，因此利用将防护膜张紧设置于防护膜框时所产生的膜张力，能够抑制防护膜框发生变形。而且，由于至少一个角部的宽度比直线部的宽度宽，所以角部的强度变高，能够进一步抑制防护膜框的变形或损坏。

另外，在专利文献2(日本特开2014－085435号公报)中公开了一种利用压制加工由一块金属平板制作的防护膜框，该防护膜框的特征在于：其截面形成L字形状，在从防护膜框内壁面向外侧直角弯折的外表面具有防护膜粘接面，在与内壁面接触的端面具有掩模粘合面，该防护膜框为由碳钢或不锈钢制成。

在上述专利文献2所记载的防护膜框中，由于是利用量产性优异的压制加工制作的防护膜框，所以制作成本极为廉价，并且，由于被成型为截面L字形状或コ字形状，因此，能够确保作为防护膜框所需的充分的刚性。

[现有技术文献]

专利文献

专利文献1：日本特开2016－177120号公报

专利文献2：日本特开2014－085435号公报

发明内容

[发明所要解决的技术问题]

然而，上述专利文献1所记载的防护膜框由韧性差的原材料构成，非常脆，因此处理困难。另外，加工性差，制造成本也高。此外，超硬合金和金属陶瓷的比重高，增加了防护膜框的重量。

另外，上述专利文献2所记载的防护膜框虽然能够廉价地制造，但碳钢和不锈钢的比重高，增加了防护膜框的重量。此外，难以使防护膜框的表面充分黑色化。