[发明专利]紧凑型对准传感器布置

权利要求书

1.一种用于感测包括在衬底上的光栅的对准图案的设备，所述设备包括：

至少一个光源，用于生成第一相干辐射束和第二相干辐射束，所述第一相干辐射束从第一角度照射所述光栅的一部分，所述第二相干辐射束从第二角度照射所述光栅的所述部分，所述第一相干辐射束和第二相干辐射束被所述光栅的所述部分衍射；以及

多模干涉装置，包括：

第一输入端口，被布置为接收由所述光栅部分来衍射的所述第一相干辐射束的正衍射阶和所述第二相干辐射束的正衍射阶；

第二输入端口，被布置为接收由所述光栅部分来衍射的所述第一相干辐射束的负衍射阶和所述第二相干辐射束的负衍射阶；

第一输出端口，被布置为输出第一空间叠置图像，所述第一空间叠置图像包括被所述第一相干辐射束照射的所述光栅部分的图像和被所述第二相干辐射束照射的所述光栅部分的镜像；和

第二输出端口，被布置为输出第二空间叠置图像，所述第二空间叠置图像包括被所述第二相干辐射束照射的所述光栅部分的图像和被所述第一相干辐射束照射的所述光栅部分的镜像。

2.如权利要求1所述的设备，还包括：

第一检测器，被布置为接收所述第一空间叠置图像，并生成指示所述第一空间叠置图像的强度的第一信号；以及

第二检测器，被布置为接收所述第二空间叠置图像，并生成指示所述第二空间叠置图像的强度的第二信号。

3.如权利要求2所述的设备，还包括处理器，所述处理器被布置为接收所述第一信号和所述第二信号，并且被配置为至少部分地基于所述第一信号和所述第二信号确定所述光栅的所述部分的特性。

4.一种用于感测包括在衬底上的光栅的对准图案的设备，所述设备包括：

至少一个光源，用于生成第一相干辐射束和第二相干辐射束，所述第一相干辐射束从第一角度照射所述光栅的一部分，所述第二相干辐射束从第二角度照射所述光栅的所述部分，所述第一相干辐射束和第二相干辐射束被所述光栅的所述部分衍射；以及

多个多模干涉装置，所述多模干涉装置中的每一个与所述光栅部分的对应段相邻地布置并且包括

第一输入端口，被布置为接收由所述光栅部分的对应段衍射的所述第一相干辐射束的正衍射阶和所述第二相干辐射束的正衍射阶；

第二输入端口，被布置为接收由所述光栅部分的对应段衍射的所述第一相干辐射束的负衍射阶和所述第二相干辐射束的负衍射阶；

第一输出端口，被布置为输出第一空间叠置图像，所述第一空间叠置图像包括被所述第一相干辐射束照射的所述光栅部分的段的图像和被所述第二相干辐射束照射的所述光栅部分的段的镜像；和

第二输出端口，被布置为输出第二空间叠置图像，所述第二空间叠置图像包括被所述第二相干辐射束照射的所述光栅部分的段的图像和被所述第一相干辐射束照射的所述光栅部分的段的镜像。

5.如权利要求4所述的设备，其中，所述多个多模干涉装置被布置为与所述光栅的所述部分平行的线性阵列。

6.如权利要求4所述的设备，还包括：

多个第一检测器，所述多个第一检测器各自被布置为接收所述第一空间叠置图像，并生成指示所述第一空间叠置图像的强度的第一信号；以及

多个第二检测器，所述多个第二检测器各自被布置为接收所述第二空间叠置图像，并生成指示所述第二空间叠置图像的强度的第二信号。

7.如权利要求6所述的设备，还包括处理器，所述处理器被布置为接收所述第一信号和所述第二信号，并且被配置为至少部分地基于所述第一信号和所述第二信号确定所述光栅的所述部分的特性。