[发明专利]刻划头及刻划装置在审
申请号: | 201980057020.3 | 申请日: | 2019-08-26 |
公开(公告)号: | CN112638608A | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 中垣智贵 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;C03B33/027;H01L21/301 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 刘文海 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 刻划 装置 | ||
1.一种刻划头,其具备:保持器,其保持对被加工物进行刻划的刻划工具;保持器保持件,其在顶端设置有所述保持器;气缸,其使所述保持器保持件相对于被加工物接近;以及支承体,其支承所述保持器保持件及所述气缸,所述刻划头的特征在于,
所述气缸具有缸主体和轴体,所述轴体在导入至所述缸主体内的空气的作用下从该缸主体进退自如,且所述轴体具有被相对于所述缸主体进行空气密封的结构,
通过所述轴体从所述缸主体前进,而使得所述保持器保持件相对于被加工物靠近,
所述轴体的顶端与所述保持器保持件形成为非连结,且构成为仅有沿着所述轴体的长度方向的力能够向所述保持器保持件传递。
2.根据权利要求1所述的刻划头,其特征在于,
所述刻划头构成为,在面对所述轴体的一侧具有平坦的接触面,所述轴体的顶端形成为球状触头,且所述球状触头与所述接触面进行点接触。
3.一种刻划装置,其对被加工物进行刻划,所述刻划装置的特征在于,
所述刻划装置具备:
刻划头,其具备保持刻划工具的保持器、在顶端设置有所述保持器的保持器保持件、使所述保持器保持件相对于被加工物接近的气缸、以及对所述保持器保持件及所述气缸进行支承的支承体;
工作台,其载置被加工物;以及
驱动机构,其使所述刻划头与所述工作台相对移动,
在所述刻划头中,所述气缸具有缸主体和轴体,所述轴体在导入至所述缸主体内的空气的作用下从该缸主体进退自如,且所述轴体具有被相对于所述缸主体进行空气密封的结构,
通过所述轴体从所述缸主体前进,而使得所述保持器保持件相对于被加工物靠近,
所述轴体的顶端与所述保持器保持件形成为非连结,且构成为仅有沿着所述轴体的长度方向的力能够向所述保持器保持件传递。
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