[发明专利]感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其含有：

由下述式(N1)表示的热产碱剂；及，

含杂环聚合物的前体；

式(N1)中，L表示在连结相邻的氧原子与碳原子的连接链的路径上具有饱和烃基的2价烃基、且所述连接链的所述路径上的原子数为3以上的烃基，R^N1及R^N2分别独立地表示1价有机基团，且任选地彼此连结而形成环状结构。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，

所述式(N1)中的L具有由式(N2-a)或式(N2-b)表示的结构；

-L¹-Ar-L²- 式(N2-a)；

-Ar¹-L³-Ar²- 式(N2-b)；

式(N2-a)中，L¹及L²分别独立地表示单键或烃基，L¹及L²中的至少一个在所述路径上含有饱和烃基，Ar表示亚芳基，式(N2-b)中，L³表示在所述路径上含有饱和烃基的烃基，Ar¹及Ar²分别独立地表示亚芳基。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，

所述式(N1)中的R^N1及R^N2分别独立地为脂肪族烃基。

4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其中，

所述式(N1)中的R^N1及R^N2中的至少一个为具有极性基团的脂肪族烃基。

5.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，

所述式(N1)中的R^N1及R^N2彼此连结而形成脂肪族环状结构。

6.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物，其中，

所述脂肪族环状结构至少具有极性基团来作为取代基的一部分。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的感光性树脂组合物，其还含有光自由基聚合引发剂及自由基聚合性化合物。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

所述含杂环聚合物的前体含有聚酰亚胺前体或聚苯并噁唑前体。

9.根据权利要求8所述的感光性树脂组合物，其中，

所述含杂环聚合物的前体含有聚酰亚胺前体。

10.根据权利要求9所述的感光性树脂组合物，其中，

所述聚酰亚胺前体具有由下述式(1)表示的结构单元，

式(1)中，A¹及A²分别独立地表示氧原子或NH，R¹¹¹表示2价有机基团，R¹¹⁵表示4价有机基团，R¹¹³及R¹¹⁴分别独立地表示氢原子或1价有机基团。

11.根据权利要求10所述的感光性树脂组合物，其中，

所述式(1)中的R¹¹³及R¹¹⁴中的至少一个含有自由基聚合性基团。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的感光性树脂组合物，其用于形成再配线层用层间绝缘膜。

13.一种固化膜，其使权利要求1至12中任一项所述的感光性树脂组合物固化而成。