[发明专利]具有动态调平的同轴升降装置

权利要求书

1.一种升降组件，包括：

底座，所述底座具有基板支撑表面和侧壁，所述侧壁限定所述底座的外部尺寸；

底部碗升降器，包括：

底部碗，所述底部碗包括壁，所述壁具有大于所述底座的所述外部尺寸的内部尺寸；

底部碗托架，所述底部碗托架被配置成支撑所述底部碗；

底部碗致动器组件，所述底部碗致动器组件被配置成使所述底部碗托架在所述第一方向上平移；以及

底座升降器，包括：

底座托架，所述底座托架耦接至所述底座；以及

多个致动器，其中所述多个致动器中的每个致动器耦接至所述底座托架的单独部分，并且所述多个致动器被配置成当所述多个致动器中的一个或多个致动器使所述底座托架的至少一部分在所述第一方向上平移时，在所述底座与所述底部碗之间引起相对线性运动和角运动。

2.如权利要求1所述的升降组件，其中所述底部碗托架和所述底座托架经由波纹管附接在一起，所述波纹管在所述底部碗升降器与所述底座升降器之间形成密封。

3.如权利要求1所述的升降组件，其中所述底部碗致动器组件进一步包括底部碗致动器和一个或多个引导件，其中所述一个或多个引导件耦接至骨干结构和所述底部碗托架，并且所述一个或多个引导件被配置成当所述底部碗致动器使所述底部碗托架在第一方向上平移时，允许所述骨干结构与所述底部托架之间在所述第一方向上的相对线性运动。

4.如权利要求1所述的升降组件，进一步包括挠性铰链，所述挠性铰链具有第一端和第二端，其中所述挠性铰链中的每个挠性铰链在所述第一端附接到基座组件，并且在所述第二端附接到所述多个致动器中的一个致动器。

5.如权利要求1所述的升降组件，进一步包括冷却毂，所述冷却毂附接到所述底部碗托架和所述底座托架。

6.如权利要求1所述的升降组件，其中所述多个致动器包括三个致动器。

7.一种用于升降器系统的方法，包括：

将底部碗升降器降低到交换位置，使得底部碗处于靠近工艺腔室的底表面的降低的位置，其中所述底部碗包括壁，所述壁具有限定内部容积的内表面；

将所述底部碗升降器提升到与所述工艺腔室的所述底表面相距一定距离的工艺位置；

将底座的所述顶表面相对于喷头的输出表面以第一取向定向，其中

所述底座的所述顶表面的所述第一取向相对于所述喷头的所述输出表面不共面；以及

所述底座可定位在所述底部碗的内部容积内；以及

在所述底座的所述顶表面以所述第一取向定向并且所述底部碗升降器处于所述工艺位置的同时，在设置在所述底座的所述顶表面上的基板上沉积第一材料层。

8.如权利要求7所述的方法，其中所述升降器系统包括底部碗托架和底座托架，其中所述底部碗托架耦接至所述底部碗，并且所述底座托架耦接至所述底座。

9.如权利要求7所述的方法，其中所述升降器系统包括多个致动器，所述多个致动器被配置成引起所述底座与所述底部碗之间的相对线性运动和角运动。