[发明专利]热丝化学气相沉积装置

说明书

本发明提供一种能够将多个基材容易地配置在腔室内的热丝化学气相沉积装置。热丝化学气相沉积装置(1)具有腔室(2)、多个丝、分别支撑多个基材(5)的多个基材支撑体(4)以及载物台(31)。多个基材支撑体(4)能够通过开口部(2H)沿指定的插入方向插入于腔室(2)的内部，并以使多个基材(5)沿所述插入方向隔开间隔被配置的方式分别支撑多个基材(5)。载物台(31)具有以使多个基材(5)与多个丝相向被配置的方式容许多个基材支撑体(4)被载置的载置面，在腔室(2)的内部以使多个基材支撑体(4)在腔室宽度方向上邻接被配置的方式支撑多个基材支撑体(4)。

技术领域

本发明涉及一种在基材上形成覆膜(coating film)的热丝化学气相沉积装置。

背景技术

以往，作为在基材表面形成金刚石薄膜等覆膜的包覆装置(coating device)，已知热丝化学气相沉积装置。在此种热丝化学气相沉积装置中，碳氢(甲烷)和氢的混合气体利用被加热至1000度以上的丝而预先被加热，通过该加热气体被导入到基板表面，从而利用碳氢的热分解而金刚石沉积。

在专利文献1中公开了为了在立体形状的被加工物的表面沉积均匀的金刚石膜而在布设成圆筒状的丝内部配置被加工物(基材)的技术。在该技术中，具备骨骼构件，该骨骼构件具备多个支柱和连结该多个支柱的环状的梁。通过在骨骼构件的支柱和梁上缠绕1根丝，从而形成圆筒状的加热区域。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本发明专利公开公报特开平4-6274号

在专利文献1记载的技术中，当进行包覆处理时，基材(被加工物)被配置在圆筒状的加热区域的内部。在此种构造中，难以以提高包覆处理效率为目的将多个基材配置在圆筒状的加热区域内。此外，在基材为硬质工具那样的重量物的情况下，存在将多个基材配置在加热区域的准备作业需要较多的时间的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够将多个基材容易地配置在腔室内的热丝化学气相沉积装置。

本发明所提供的是对多个基材进行包覆处理的热丝化学气相沉积装置，该热丝化学气相沉积装置包括：腔室，具有形成有开口部的腔室主体和以能够封闭以及开放所述开口部的方式安装于所述腔室主体的门部；多个丝，被配置在所述腔室的内部，用于加热原料气体；多个基材支撑体，能够通过所述开口部沿指定的插入方向插入于所述腔室的内部，该多个基材支撑体以使所述多个基材沿所述插入方向隔开间隔被配置的方式分别支撑所述多个基材；以及载物台，具有以使所述多个基材与所述多个丝相向配置的方式容许所述多个基材支撑体被载置的载置面，并在所述腔室的内部以使所述多个基材支撑体在与所述插入方向交叉的腔室宽度方向上邻接配置的方式支撑所述多个基材支撑体。

附图说明

图1是本发明的一实施方式所涉及的热丝化学气相沉积装置的立体图。

图2是表示本发明的一实施方式所涉及的热丝化学气相沉积装置的内部构造的立体图。

图3是表示本发明的一实施方式所涉及的热丝化学气相沉积装置的内部构造的正视图。

图4是表示本发明的一实施方式所涉及的热丝化学气相沉积装置的内部构造的俯视图。

图5是本发明的一实施方式所涉及的热丝化学气相沉积装置的电气框图。

图6是本发明的一实施方式所涉及的热丝化学气相沉积装置的多个丝部件(filament cartridge)的立体图。

图7是本发明的一实施方式所涉及的热丝化学气相沉积装置的多个丝部件的立体图。

图8是本发明的一实施方式所涉及的丝部件的连结构件的剖视图。