[发明专利]针对在衬底处理系统的气体输送系统中的硬件部件的软件仿真器

权利要求书

1.一种软件仿真系统，其用于衬底处理系统的气体输送系统，所述软件仿真系统包含：

输入/输出总线；

仿真器总线；

输入/输出总线适配器，其包含交换器，所述交换器被配置成从所述衬底处理系统的系统控制器发送数据包至所述输入/输出总线和所述仿真器总线中的一者；以及

气体输送系统仿真器，其与所述仿真器总线通信，且被配置成：

经由所述仿真器总线从所述输入/输出总线适配器接收所述数据包；以及

执行所述气体输送系统的互连的多个硬件部件的基于软件的仿真，

其中所述多个硬件部件使用一或更多个软件模型进行模型化，且包含阀与质量流量控制器中的至少一者以及气源。

2.根据权利要求1所述的软件仿真系统，其中所述气体输送系统仿真器包含气体仿真引擎，其用于执行在所述一或更多个软件模型上使用的仿真、定义所述多个硬件部件的配置数据、以及定义在所述多个硬件部件之间的连接的网表。

3.根据权利要求1所述的软件仿真系统，其中所述气体输送系统仿真器包含气体仿真引擎管理器以管理所述气体仿真引擎。

4.根据权利要求2所述的软件仿真系统，其中所述气体仿真引擎管理器与所述系统控制器的工艺控制应用程序对接并且生成所述配置数据和所述网表。

5.根据权利要求2所述的软件仿真系统，其中所述气体仿真引擎选择性地生成测试记录文件。

6.根据权利要求2所述的软件仿真系统，其中由所述气体输送系统仿真器所执行的仿真是在不改变所述系统控制器的操作或编码的情况下执行。

7.根据权利要求1所述的软件仿真系统，其中所述一或更多个软件模型中的至少一者包含质量流量控制器模型，以仿真质量流量控制器并且基于输出流率和流率设定值的比较而选择多个输出函数中的一者。

8.根据权利要求7所述的软件仿真系统，其中所述质量流量控制器模型在所述输出流率在所述流率设定值附近的预定范围内时使用第一函数，在所述输出流率小于所述预定范围时使用第二函数，以及在所述输出流率大于所述预定范围时使用第三函数。

9.根据权利要求8所述的软件仿真系统，其中所述质量流量控制器模型包含噪声产生器，其用于当所述第一函数在运行中时选择性地添加噪声。

10.根据权利要求1所述的软件仿真系统，其中所述一或更多个软件模块中的至少一者包含正常仿真模式和至少一个故障仿真模式。

11.一种用于测试衬底处理系统的气体输送系统的方法，其包含：

将从所述衬底处理系统的系统控制器接收的数据包发送至输入/输出总线和仿真器总线中的一者；

从所述仿真器总线接收所述数据包以及执行所述气体输送系统的互连的多个硬件部件的基于软件的仿真；以及

使用一或更多个软件模型将所述多个硬件部件模型化，

其中所述多个硬件部件包含阀与质量流量控制器中的至少一者以及气源。

12.根据权利要求11所述的方法，其还包括基于所述一或更多个软件模型、定义所述多个硬件部件的配置数据、以及定义在所述多个硬件部件之间的连接的网表来进行仿真。

13.根据权利要求12所述的方法，其还包含与所述系统控制器的工艺控制应用程序对接以生成所述配置数据和所述网表。

14.根据权利要求12所述的方法，其还包括选择性地生成测试记录文件。

15.根据权利要求12所述的方法，其还包括在不改变所述系统控制器的操作或编码的情况下执行所述仿真。