[发明专利]热丝化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种热丝化学气相沉积装置，对多个基材进行包覆处理，其特征在于包括：

腔室；

基材支撑体，被配置在所述腔室的内部，支撑所述多个基材；

多个丝，分别在所述腔室的内部沿第一方向延伸并在与所述第一方向交叉的第二方向上互相隔开间隔而被配置，用于加热原料气体；

第一框部，沿所述第二方向延伸并支撑所述多个丝各自在所述第一方向上的一端部；

第二框部，沿所述第二方向延伸并支撑所述多个丝各自在所述第一方向上的另一端部，而且，相对于所述第一框部能够沿所述第一方向相对移动；

电源，使指定的电流流入所述多个丝的所述一端部与所述另一端部之间；

驱动部，以使所述第二框部相对于所述第一框部沿所述第一方向相对移动的方式工作；

温度信息获取部，获取伴随施加所述电压而变化的所述多个丝的温度信息；

运算部，基于所述温度信息获取部获取的所述温度信息运算所述多个丝的热膨胀量；以及

驱动控制部，在所述包覆处理开始之前控制所述驱动部将相对于所述第一框部的所述第二框部的相对位置设定在指定的初期设定位置，并且，在所述包覆处理开始之后控制所述驱动部使所述第二框部以根据所述运算部运算出的所述热膨胀量从所述第一框部离开的方式移动。

2.根据权利要求1所述的热丝化学气相沉积装置，其特征在于，

所述运算部还在所述包覆处理开始之后基于所述电源的输出以及对所述多个丝的电压施加时间运算所述多个丝的温度，

所述温度信息获取部将所述运算部运算出的所述温度作为所述温度信息而获得。

3.根据权利要求1所述的热丝化学气相沉积装置，其特征在于还包括：

存储部，存储以及输出与所述电源的输出以及对所述多个丝的电压施加时间相对应的所述温度信息，其中，

所述温度信息获取部在所述包覆处理开始之后从所述存储部获取与所述电源的输出以及所述电压施加时间相对应的所述温度信息。

4.根据权利要求1所述的热丝化学气相沉积装置，其特征在于还包括：

存储部，存储以及输出与所述电源的输出以及对所述多个丝的电压施加时间相对应的所述温度信息的校正值，其中，

所述运算部还在所述包覆处理开始之后基于所述电源的输出以及对所述多个丝的电压施加时间运算所述多个丝的温度，并利用从所述存储部输出的所述校正值来校正该运算出的温度，

所述温度信息获取部将由所述运算部校正的所述温度作为所述温度信息而获取。

5. 根据权利要求1至4中任一项所述的热丝化学气相沉积装置，其特征在于包括：

至少一个丝部件，能够插入于所述腔室的内部，该至少一个丝部件包括所述多个丝、所述第一框部、所述第二框部和将所述第一框部及所述第二框部各自在所述第二方向上的两端部沿所述第一方向连结的一对连结构件；以及

一对保持部，以使所述多个丝在与包含所述第一方向以及所述第二方向的平面交叉的第三方向上与所述多个基材相向的方式支撑所述第一框部以及所述第二框部，其中，

所述驱动部通过使所述一对保持部在所述第一方向上的距离变化，从而使所述第二框部相对于所述第一框部沿所述第一方向相对移动，

所述一对连结构件分别具有以容许伴随所述驱动部的工作的所述第一框部与所述第二框部之间的距离变化的方式能够伸缩的伸缩部。

6.根据权利要求5所述的热丝化学气相沉积装置，其特征在于，

所述至少一个丝部件具有多个丝部件，

所述一对保持部呈以使所述多个丝部件分别所具有的所述多个丝彼此在所述第三方向上互相隔开间隔而被配置的方式分别保持所述多个丝部件的形状。