[发明专利]激光扫描装置及激光加工装置

说明书

激光扫描装置具备旋转部件(31)、透光玻璃(33)及反射镜。旋转部件(31)以旋转轴线为中心进行旋转。透光玻璃(33)配置在旋转部件(31)上。反射镜以激光入射在透光玻璃(33)上的方式导引该激光。当从平行于旋转轴线的视线方向观察旋转部件(31)时，连接多个透光玻璃(33)的内表面(33a)的形状是多边形。当将透光玻璃(33)的内表面(33a)与平行于旋转轴线的直线所夹的角度设为倾斜角时，多个透光玻璃(33)的倾斜角中至少2个倾斜角的值不同。

技术领域

本发明主要涉及一种扫描激光的激光扫描装置。

背景技术

专利文献1公开了一种多光束激光装置，其具有红外线激光的产生源和分光器模块。分光器模块是将多个分光器与一个反射镜并排配置而构成。通过将红外线激光照射于分光器模块上，激光被分离成多条相互平行的激光光束。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利申请公开第2009/0159578号说明书

发明内容

发明所要解决的技术问题

专利文献1的多光束激光装置，是单方向扫描激光的构成。在这种激光装置中，激光容易以短时宽照射于相同的部位。由此，会对烧蚀加工产生热的影响。

本发明鉴于所述情状而完成，其主要目的在于提供一种激光扫描装置，用以进行热影响小的烧蚀加工，从而有效且均匀地进行切割等的加工。

解决问题所使用的技术方案

本发明所欲解决的问题诚如上所述，以下对用以解决该问题的手段及其功效进行说明。

根据本发明的观点，提供以下构成的激光扫描装置。即，该激光扫描装置，其具备旋转部件、透光部件和导光部件。所述旋转部件以旋转轴线为中心进行旋转。所述透光部件配置在所述旋转部件上。所述导光部件，以激光入射在所述透光部件上的方式导引该激光。当从平行于所述旋转轴线的视线方向观察所述旋转部件时，连接所述透光部件的所述旋转轴线侧的面即内表面的形状是多边形。当将所述透光部件的所述内表面与平行于所述旋转轴线的直线所夹的角度设为倾斜角时，所述透光部件的倾斜角中至少2个倾斜角的值不同。

由此，通过连接透光部件的内表面的形状为多边形且使透光部件旋转，能够在与旋转轴线垂直的一个方向对透光部件的一面扫描激光。并且，由于透光部件的倾斜角中至少2个倾斜角的值不同，因此能够朝平行于旋转轴线的方向对各透光部件的一面扫描(位移)激光。通过使透光部件旋转，利用这些部件的2个运动，变得能够朝2个方向扫描激光，因此能够与表观波束直径(束径)大的激光类似进行处理。

另外，由于激光分散照射于2个扫描方向，因此激光暂且变得难以再照射于曾一度照射激光的部位近旁，因而照射激光进行烧蚀加工时而多馀的热量变得容易散发。因此，能够进行热影响小的烧蚀加工。由此，能够有效且均匀地进行切割等的加工。

发明效果

根据本发明，能够提供一种激光扫描装置，其能够减小烧蚀加工时的热的影响，从而能够有效且均匀地进行切割等的加工。

附图说明

图1是显示本发明的一实施方式的激光加工装置的整体构成的立体图；

图2是激光扫描装置的立体图；

图3是激光扫描装置的侧剖视图(沿图2中的A-A线所作的剖视图)；

图4是显示朝第一扫描方向扫描激光的状况的说明图；

图5是显示朝第二扫描方向扫描激光的状况的说明图；

图6是显示照射激光的顺序的图；

图7是示意显示表观束径大的激光被照射于工件上的状况的立体图；