[发明专利]热电转换元件的制造方法及热电转换元件

说明书

本发明提供热电转换元件的制造方法及热电转换元件。热电转换元件(10)的制造方法包括：在基板(W)的表面形成包含热电材料的热电膜(F)；利用模具(30)按压热电膜，在基板的表面形成热电膜的图案(PA)；对在基板表面形成的热电膜的图案进行加热，生成热电转换元件。

技术领域

本发明涉及热电转换元件的制造方法及热电转换元件。

背景技术

已知利用塞贝克效应产生电力的热电转换元件。热电转换元件的一个端面被冷却，热电转换元件的另一个端面被加热，由此热电转换元件产生电力。专利文献1中公开了热电转换元件的制造方法的一个例子。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：(日本)特开2010－040998号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

作为决定热电转换元件的热电特性的主要原因之一，列举出表示热电转换元件的高度和截面面积之比的形状因子。在热电转换元件中，如果能够得到适当的形状因子，就能够得到适当的热电特性。

本发明的目的在于提供具有适当的形状因子的热电转换元件。

用于解决技术问题的技术手段

根据本发明的方式，提供热电转换元件的制造方法，具有：在基板的表面形成包含热电材料的热电膜；利用模具按压所述热电膜，在所述基板的表面形成所述热电膜的图案；对在所述基板的表面形成的所述热电膜的图案进行加热，生成热电转换元件。

发明效果

根据本发明的方式，提供具有适当的形状因子的热电转换元件。

附图说明

图1是示意性地表示第一实施方式的热电发电模块的立体图。

图2是示意性地表示第一实施方式的热电转换元件的立体图。

图3是示意性地表示第一实施方式的热电转换元件的剖视图。

图4是示意性地表示第一实施方式的热电转换元件的俯视图。

图5是表示第一实施方式的热电转换元件的制造方法的流程图。

图6是表示第一实施方式的热电转换元件的制造方法的示意图。

图7是表示第一实施方式的热电转换元件的制造方法的示意图。

图8是表示第一实施方式的热电转换元件的制造方法的示意图。

图9是表示第一实施方式的热电转换元件的制造方法的示意图。

图10是表示热电转换元件的形状因子和最大电流值的关系的图。

图11是表示热电转换元件的形状因子和截面面积的关系的图。

图12是示意性地表示第二实施方式的热电转换元件的立体图。

图13是示意性地表示第二实施方式的热电转换元件的俯视图。

图14是示意性地表示第三实施方式的热电转换元件的剖视图。

图15是示意性地表示第四实施方式的热电转换元件的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式，但本发明不限于此。以下说明的实施方式的构成要素可以适当地组合。另外，也有不使用一部分构成要素的情况。