[发明专利]在等离子体相处理含有目标气体的排放气体的方法及装置在审
申请号: | 201980059619.0 | 申请日: | 2019-07-11 |
公开(公告)号: | CN112672810A | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 白光铉;周元泰;张润相 | 申请(专利权)人: | 普拉斯尼克斯 |
主分类号: | B01D53/32 | 分类号: | B01D53/32;H01J37/32 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 吕琳;田英爱 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 等离子体 相处 含有 目标 气体 排放 方法 装置 | ||
1.一种在等离子体相处理含有目标气体的排放气体的方法,其特征在于,
包括如下步骤:
在进行目标气体的转化的转化区域生成等离子体;
第一电离能作为低于10eV的元素,将含有促进目标气体的转化的转化促进元素的转化促进剂供应至转化区域;
与目标气体的解离产物结合而抑制再结合为目标气体,并将转化为转化产物的转化剂供应至转化区域;
将含有目标气体的排放气体供应至转化区域。
2.根据权利要求1所述的在等离子体相处理含有目标气体的排放气体的方法,其特征在于,
转化促进元素的过量比低于1。
3.根据权利要求1所述的在等离子体相处理含有目标气体的排放气体的方法,其特征在于,
转化剂的过量比超过1。
4.根据权利要求1所述的在等离子体相处理含有目标气体的排放气体的方法,其特征在于,
在转化区域内,转化促进元素的摩尔分数为0.1~10000ppm。
5.根据权利要求1所述的在等离子体相处理含有目标气体的排放气体的方法,其特征在于,
在转化区域内,转化促进元素的摩尔分数为1~1000ppm。
6.根据权利要求1所述的在等离子体相处理含有目标气体的排放气体的方法,其特征在于,
转化促进元素是指从由碱金属和碱土金属构成的群中选择的至少任一个。
7.根据权利要求1所述的在等离子体相处理含有目标气体的排放气体的方法,其特征在于,
转化促进元素为锂、钠、钾、铯中至少任一个。
8.根据权利要求1所述的在等离子体相处理含有目标气体的排放气体的方法,其特征在于,
转化促进剂是指从由金属、化合物、合金、金属间化合物、矿物构成的群中选择的至少任一个。
9.根据权利要求8所述的在等离子体相处理含有目标气体的排放气体的方法,其特征在于,
化合物是指由氢氧化物、硝酸盐、亚硝酸盐、碳酸盐、碳酸氢盐、过碳酸盐、醋酸盐、甲酸盐、氟化物、氯化物、氯酸盐、亚氯酸盐、次氯酸盐、溴化物、硼氢化物、磷酸盐、亚磷酸盐、次磷酸盐、邻苯二甲酸酯、硫酸盐、硫化物、连二亚硫酸盐、氨基磺酸盐、草酸盐、氧化物、异丙氧化物构成的群中选择的至少任一个。
10.根据权利要求1所述的在等离子体相处理含有目标气体的排放气体的方法,其特征在于,
转化剂包括将氢、氧、氮、碳中至少任一个作为转化剂的构成元素。
11.根据权利要求1所述的在等离子体相处理含有目标气体的排放气体的方法,其特征在于,
转化剂是指从由水、氢、氧、碳化氢构成的群中选择的至少任一个。
12.根据权利要求1所述的在等离子体相处理含有目标气体的排放气体的方法,其特征在于,
将转化促进剂溶解至液相的转化剂的溶液作为供应原料使用。
13.根据权利要求12所述的在等离子体相处理含有目标气体的排放气体的方法,其特征在于,
液相的转化剂为水。
14.根据权利要求1所述的在等离子体相处理含有目标气体的排放气体的方法,其特征在于,
还包括如下步骤:
在将含有目标气体的排放气体供应至转化区域之前预热。
15.根据权利要求14所述的在等离子体相处理含有目标气体的排放气体的方法,其特征在于,
在通过转化区域之后,将在物质残留的废热通过热交换方式回收而用于预热。
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