[发明专利]压电层叠元件在审
申请号: | 201980059781.2 | 申请日: | 2019-09-17 |
公开(公告)号: | CN112689908A | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 藤田章雄;中村悠佑;林繁利;川田慎一郎 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H01L41/187 | 分类号: | H01L41/187;C04B35/468;H01B3/12;H01L41/047;H01L41/083;H01L41/09 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 赵琳琳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 层叠 元件 | ||
1.一种压电层叠元件,具备多个压电体陶瓷层、形成在所述压电体陶瓷层间的内部电极以及与所述内部电极电连接的外部电极,所述压电层叠元件的特征在于,
所述压电体陶瓷层由以下的组成式表示,
{Ba1-xCaxO}mTiO2+αRe2O3+βMgO+γMnO
其中,Re2O3为从Y2O3、Gd2O3、Tb2O3、Dy2O3、Ho2O3、Er2O3、Yb2O3以及La2O3之中选择的至少一种以上,α、β以及γ表示摩尔比,并满足以下的关系式(1)~(5),
0.0010≤α≤(-65.32m+67.70)/100 (1)
0.0004≤β≤(-28.74m+29.79)/100 (2)
m≤1.006时,0.0002≤γ≤(-13.06m+13.54)/100
m>1.006时,0.0002≤γ≤0.004 (3)
0.995≤m≤1.011(4)
0.01≤x≤0.25(5)
并且,相对于用于所述压电体陶瓷层的{Ba1-xCaxO}TiO2原料中的100重量份的主成分,含有0.2重量份以上且0.8重量份以下的作为副成分的SiO2,
所述压电体陶瓷层在一定方向上具有残留极化,
所述内部电极包含镍、镍合金、铜或铜合金。
2.根据权利要求1所述的压电层叠元件,其特征在于,
所述压电体陶瓷层中包含的陶瓷的平均颗粒直径为0.6μm以上且3.7μm以下。
3.根据权利要求1或2所述的压电层叠元件,其特征在于,
所述压电体陶瓷层的每一层的平均厚度为5μm以上且60μm以下。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的压电层叠元件,其特征在于,
所述内部电极包含镍或镍合金。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的压电层叠元件,其特征在于,
所述压电体陶瓷层的残留极化值为3.0μC/cm2以上。
6.一种压电层叠元件,具备多个压电体陶瓷层、形成在所述压电体陶瓷层间的内部电极以及与所述内部电极电连接的外部电极,所述压电层叠元件的特征在于,
所述压电体陶瓷层相对于包含含有Ba、Ca、Ti、Mg、Mn以及Re的氧化物的100重量份的主成分,含有0.2重量份以上且0.8重量份以下的作为副成分的SiO2,其中,Re为从Y、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Yb以及La之中选择的至少一种以上,
将相对于所述氧化物中包含的1摩尔的Ti的、Ba和Ca的合计含量设为m摩尔,将Re的含量设为α摩尔,将Mg的含量设为β摩尔,将Mn的含量设为γ摩尔,此时,作为所述主成分的氧化物满足以下的关系式(1)~(5),
0.0010≤α≤(-65.32m+67.70)/100 (1)
0.0004≤β≤(-28.74m+29.79)/100 (2)
m≤1.006时,0.0002≤γ≤(-13.06m+13.54)/100
m>1.006时,0.0002≤γ≤0.004 (3)
0.995≤m≤1.011 (4)
0.01≤x≤0.25 (5)
并且,所述压电体陶瓷层在一定方向上具有残留极化,
所述内部电极包含镍、镍合金、铜或铜合金。
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