[发明专利]压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器，其特征在于，

具备：筒状部件，所述筒状部件以与流体通路连通的状态而气密地安装于形成所述流体通路的主体上；以及压力传感器部，所述压力传感器部与所述筒状部件连接并且对在所述主体的所述流体通路内流动的流体的压力进行检测，

所述筒状部件由镍钼铬合金材料或不锈钢材料形成，

所述压力传感器部具备：传感器主体，所述传感器主体具有所述流体流入的受压室以及与流入所述受压室的所述流体接触的隔膜，并且一端被所述隔膜闭塞；以及压力检测元件，所述压力检测元件将所述隔膜的位移作为压力而输出，

所述传感器主体由钴镍合金材料所形成，开口侧端部与所述筒状部件的一端部气密地连接。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述筒状部件与所述传感器主体通过熔接而气密地连接。

3.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，

将所述筒状部件形成为比所述压力传感器部的最大外径更小的直径，在所述筒状部件的一端部设置熔接用凸缘部，并且在所述筒状部件的另一端部设置安装用凸缘部，

在所述压力传感器部的传感器主体的开口侧端部的端面上，突出形成比所述压力传感器部的最大外径更小的直径并且内径与所述筒状部件的内径相同的连接用筒部，在所述连接用筒部的开口侧端部设置与所述筒状部件的熔接用凸缘部抵接的熔接用凸缘部，

通过熔接将所述筒状部件的熔接用凸缘部与形成于所述传感器主体的所述连接用筒部的熔接用凸缘部气密地连接固着。

4.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述筒状部件与所述传感器主体通过凸缘连接而气密地连接。

5.根据权利要求4所述的压力传感器，其特征在于，

将所述筒状部件形成为比所述压力传感器部的最大外径更小的直径，在所述筒状部件的一端部设置连接用凸缘部，并且在所述筒状部件的另一端部设置安装用凸缘部，

在所述压力传感器部的传感器主体的开口侧端部的端面上，突出形成比所述压力传感器部的最大外径更小的直径并且内径与所述筒状部件的内径相同的连接用筒部，在所述连接用筒部的开口侧端部设置与所述筒状部件的连接用凸缘部抵接的连接用凸缘部，

在所述筒状部件的连接用凸缘部与形成于所述传感器主体的连接用筒部的连接用凸缘部之间挟入垫片，将所述筒状部件的连接用凸缘部与所述连接用筒部的连接用凸缘部利用螺栓以及螺帽进行锁紧而气密地连接固定。

6.根据权利要求4所述的压力传感器，其特征在于，

将所述筒状部件形成为比所述压力传感器部的最大外径更小的直径，在所述筒状部件的一端部设置连接用凸缘部，并且在所述筒状部件的另一端部设置安装用凸缘部

在所述压力传感器部的传感器主体的开口侧端部的端面突出形成：比所述压力传感器部的最大外径更小的直径并且内径与所述筒状部件的内径相同的连接用筒部，在所述连接用筒部的开口侧端部设置与所述筒状部件的连接用凸缘部抵接的连接用凸缘部，

在所述筒状部件的连接用凸缘部与形成于所述传感器主体的连接用筒部的连接用凸缘部之间挟入垫片，将所述筒状部件的连接用凸缘部与所述连接用筒部的连接用凸缘部通过夹紧具从外部夹紧而气密地连接固定。