[发明专利]玻璃微粒沉积体的制造方法以及玻璃母材的制造方法

权利要求书

1.一种玻璃微粒沉积体的制造方法，具有：

将起始棒和玻璃微粒生成用的燃烧器设置在反应容器内，将作为玻璃原料的硅氧烷气体导入到所述燃烧器内，在由所述燃烧器形成的火焰内使所述玻璃原料进行氧化反应以生成玻璃微粒，并且将所生成的所述玻璃微粒沉积于所述起始棒上，其中，

从所述燃烧器的中心喷出硅氧烷气体和载气，从所述硅氧烷气体和所述载气的出射口的径向外侧喷出密封气体，并且从所述密封气体的出射口的径向外侧喷出燃烧气体，

将所述硅氧烷气体的每单位时间的供给体积量相对于所述硅氧烷气体的每单位时间的供给体积量和所述载气的每单位时间的供给体积量的总和的体积浓度(C1)设为10.6体积％＜C1＜20.0体积％，

将所述硅氧烷气体的每单位时间的供给体积量相对于所述硅氧烷气体的每单位时间的供给体积量、所述载气的每单位时间的供给体积量以及所述密封气体的每单位时间的供给体积量的总和的体积浓度(C2)设为5.8体积％＜C2＜10.0体积％。

2.根据权利要求1所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其中，

将所述硅氧烷气体和所述载气的混合气体在所述燃烧器的出射口处的流速设为5m/s以上50m/s以下。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其中，

玻璃微粒的合成速度为0.0000167kg/s以上0.00067kg/s以下，玻璃微粒的合成产率为30％以上。

4.一种玻璃母材的制造方法，其中，对利用权利要求1至权利要求3中任意1项所述的制造方法所制造的玻璃微粒沉积体进行加热烧结。