[发明专利]激光装置及激光波形控制方法在审
申请号: | 201980061175.4 | 申请日: | 2019-07-02 |
公开(公告)号: | CN112740491A | 公开(公告)日: | 2021-04-30 |
发明(设计)人: | 栗田隆史;加藤义则;川嶋利幸 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | H01S3/10 | 分类号: | H01S3/10;H01S3/00;H01S5/062 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;黄浩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 装置 波形 控制 方法 | ||
1.一种激光装置,其特征在于,
具备:
半导体激光元件;
波形运算部,其运算输入波形数据;
驱动电路,其与所述波形运算部和所述半导体激光元件电连接,生成具有与所述输入波形数据相对应的时间波形的驱动电流,将该驱动电流提供给所述半导体激光元件;
光放大器,其与半导体激光元件光耦合,放大从所述半导体激光元件输出的光;以及
光波形检测部,其检测从所述光放大器输出的放大后的光波形,
所述波形运算部将由所述光波形检测部检测到的放大后的光波形与目标波形进行比较,调整所述输入波形数据的时间波形,使放大后的光波形接近所述目标波形。
2.根据权利要求1所述的激光装置,其特征在于,
所述波形运算部以使由所述光学波形检测部检测到的放大后的光波形与所述目标波形的差分接近0的方式调整所述输入波形数据的时间波形。
3.根据权利要求1或2所述的激光装置,其特征在于,
所述波形运算部具有预先存储表示所述目标波形的数据的存储部。
4.根据权利要求1~3中的任一项所述的激光装置,其特征在于,
所述驱动电路具有:
D/A转换部,其将数字的所述输入波形数据转换成模拟的驱动信号;以及
电流转换部,其将所述驱动信号转换成所述驱动电流,
所述D/A转换部,其对分割所述输入波形数据的时间波形而成的连续的多个区间波形数据一边赋予时间差一边依次转换成所述驱动信号。
5.一种激光波形控制方法,其特征在于,
包含:
电流提供步骤,其生成具有与所述输入波形数据相对应的时间波形的驱动电流,将所述驱动电流提供给半导体激光元件;
光放大步骤,其放大从所述半导体激光元件输出的光;
光波形检测步骤,其检测放大后的光波形;以及
波形调整步骤,其将通过所述光波形检测步骤检测到的放大后的光波形与目标波形进行比较,调整所述输入波形数据的时间波形,使放大后的光波形接近所述目标波形。
6.根据权利要求5所述的激光波形控制方法,其特征在于,
在所述波形调整步骤中,以使通过所述光波形检测步骤检测到的放大后的光波形与所述目标波形的差分接近0的方式调整所述输入波形数据的时间波形。
7.根据权利要求5或6所述的激光波形控制方法,其特征在于,
所述电流提供步骤包含:
D/A转换步骤,其将数字的所述输入波形数据转换成模拟的驱动信号;以及
电流转换步骤,其将所述驱动信号转换成所述驱动电流,
在所述D/A转换步骤中,对分割所述输入波形数据的时间波形而成的连续的多个区间波形数据一边赋予时间差一边依次转换成所述驱动信号。
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