[发明专利]粒子分离测量设备以及粒子分离测量装置在审
申请号: | 201980062830.8 | 申请日: | 2019-09-24 |
公开(公告)号: | CN112771364A | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 米田将史 | 申请(专利权)人: | 京瓷株式会社 |
主分类号: | G01N15/00 | 分类号: | G01N15/00;B03B5/00;G01N37/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王晖 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 粒子 分离 测量 设备 以及 装置 | ||
1.一种粒子分离测量设备,具备:
板状的第1流路设备,具有:使包含作为分离对象的特定的粒子的流体流入的分离前流入口、与该分离前流入口连接的主流路、分别与该主流路连接的多个分支流路、以及包含被分离出的所述特定的粒子的第1流体流出的分离后流出口;
板状的第2流路设备,具有载置该第1流路设备的第1区域以及成为所述特定的粒子的测量区域的第2区域,并且具有:所述第1流体流入的第1流入口、不包含所述特定的粒子的第2流体流入的第2流入口、以及分别配置在所述第2区域的与所述第1流入口连接并且所述第1流体通过的第1流路及与所述第2流入口连接并且所述第2流体通过的第2流路,
在下表面配置有所述分离后流出口的所述第1流路设备被载置于在所述第1区域的上表面配置有所述第1流入口的所述第2流路设备,所述分离后流出口和所述第1流入口对置地连接,
所述第1流入口的开口的大小大于所述分离后流出口的开口的大小。
2.根据权利要求1所述的粒子分离测量设备,其中,
所述第1流路设备经由片材构件而被载置于所述第2流路设备,所述分离后流出口和所述第1流入口经由所述片材构件的贯通孔而连接,
所述片材构件的贯通孔的开口的大小大于所述分离后流出口的开口的大小,并且小于所述第1流入口的开口的大小。
3.根据权利要求2所述的粒子分离测量设备,其中,
所述贯通孔的大小随着从所述分离后流出口侧朝向所述第1流入口侧而变大。
4.根据权利要求1或3所述的粒子分离测量设备,其中,
所述分离后流出口以及所述第1流入口的至少一者的大小随着朝向流体的流动的下游侧而变大。
5.根据权利要求2所述的粒子分离测量设备,其中,
所述片材构件的硬度高于所述第1流路设备的硬度,所述第2流路设备的硬度高于该片材构件的硬度。
6.根据权利要求1所述的粒子分离测量设备,其中,
所述第2流路设备在所述第1流入口与所述第1流路的测量部之间,具有流路的宽度随着朝向所述第1流体的流动的下游侧而变大的宽度增大部。
7.根据权利要求1所述的粒子分离测量设备,其中,
所述第2流路设备在所述第1流入口与所述第1流路的测量部之间,具有流路的高度随着朝向所述第1流体的流动的下游侧而变大的高度增大部。
8.一种粒子分离测量装置,具备:
权利要求1~7中任一项所述的粒子分离测量设备;
光学传感器,向该粒子分离测量设备的所述第1流路以及所述第2流路各自的测量部照射光,并且接收通过所述第1流路以及所述第2流路的测量部的各个光;和
控制部,对由该光学传感器获得的通过所述第1流路的测量部的光的强度以及通过所述第2流路的测量部的光的强度进行比较,从而对所述特定的粒子进行测量。
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