[发明专利]泵

权利要求书

1.一种泵，其特征在于，具备：

振动板，其在第1主面连接压电体；

罩，其具备顶板和侧壁，所述顶板同所述振动板的与所述第1主面相反侧的第2主面对置，并具有开口部，所述侧壁包围所述顶板与所述振动板之间的空间并与所述顶板的外周部连接；

支承部，其与所述侧壁连接，并支承所述振动板的外周；

开口，其形成于所述侧壁与所述振动板之间；以及

突起，其在所述顶板、所述侧壁和所述振动板中任一者上设置为向所述空间内突出，

在从与所述顶板的主面和所述振动板的第2主面相对置的朝向正交的方向剖视时，所述突起设置于所述顶板的所述开口部与所述侧壁之间，

在被所述振动板和所述顶板夹着的空间中，在比所述顶板的开口部靠外侧处具有阀，

所述阀在外侧具有由可动的膜形成的可动部，

所述阀的所述可动部的外端与所述突起对置。

2.根据权利要求1所述的泵，其特征在于，

所述振动板为圆板形状。

3.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，

所述支承部具有沿着所述振动板的外周缘的梁形状。

4.根据权利要求3所述的泵，其特征在于，

所述支承部具有：梁部、将所述振动板与所述梁部连接的第1连结部、将所述侧壁与所述梁部连接的第2连结部，

所述支承部设置有三个以上的多个，且各个所述支承部隔开间隔设置。

5.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，

所述支承部的平均厚度比所述振动板的平均厚度薄。

6.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，

所述支承部的杨氏模量比所述振动板的杨氏模量低。

7.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，

所述突起设置于所述顶板或者所述侧壁。

8.根据权利要求7所述的泵，其特征在于，

所述突起与所述振动板之间的最短距离比所述振动板与所述顶板之间的平均间隔短。

9.根据权利要求8所述的泵，其特征在于，

所述突起与所述振动板对置。

10.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，

所述顶板是具有对称点的中心对称形状，且开口部没有位于该对称点，并且所述顶板的开口部以环状形成。

11.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，

所述突起的同所述顶板对置的面与所述顶板连结。

12.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，

在所述顶板的所述开口部的外侧具有凹部。

13.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，

在所述振动板的比振动的波节靠中央侧处，在所述顶板的靠所述振动板侧处具有凹陷部。

14.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，

所述阀具有抑制从形成于所述侧壁与所述振动板之间的所述开口朝向所述顶板的所述开口部的方向的流体的功能。

15.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，

所述阀的内侧固定于振动板或者顶板。