[发明专利]传感器元件以及角速度传感器

权利要求书

1.一种传感器元件，具有：

压电体，具有以正交坐标系xyz的x轴方向为长度方向的框架、在x轴方向互相远离的位置处从所述框架向y轴方向互相延伸的两个驱动臂、以及在x轴方向上所述两个驱动臂之间从所述框架向y轴方向延伸的检测臂；

多个激振电极，以在x轴方向上对所述两个驱动臂进行激振的配置位于所述两个驱动臂；

一个以上的第1检测电极以及一个以上的第2检测电极，以所述检测臂在x轴方向或z轴方向振动时提取互相正负不同的电荷的配置位于所述检测臂；

两个激振用端子、第1检测用端子以及第2检测用端子；

多个激振用布线部，以向所述两个激振用端子施加交流电压时，所述两个驱动臂在x轴方向上相互向相反侧折弯并以相反的相位振动的连接关系，将所述多个激振电极以及所述两个激振用端子连接；

第1检测用布线部，连接于所述第1检测电极和所述第1检测用端子；和

第2检测用布线部，连接于所述第2检测电极和所述第2检测用端子，

所述第1检测用布线部的至少一部分和所述第2检测用布线部的至少一部分在所述框架上在所述框架的长度方向遍及所述框架的长度的1/4以上而延伸。

2.根据权利要求1所述的传感器元件，其中，

所述第1检测用布线部具有一端与所述一个以上的第1检测电极的任一者连接、另一端与其他所述第1检测电极或所述第1检测用端子连接的第1布线主体，

所述第2检测用布线部具有一端与所述一个以上的第2检测电极的任一者连接、另一端与其他所述第2检测电极或所述第2检测用端子连接的第2布线主体，

所述第1布线主体的至少一部分和所述第2布线主体的至少一部分在所述框架上沿所述框架的长度方向延伸。

3.根据权利要求1或2所述的传感器元件，其中，

所述第1检测用布线部具有一端与所述一个以上的第1检测电极的任一者连接、另一端与其他所述第1检测电极或所述第1检测用端子连接的第1布线主体，

所述第2检测用布线部具有：

一端与所述一个以上的第2检测电极的任一者连接、另一端与其他所述第2检测电极或所述第2检测用端子连接的第2布线主体；和

一端与所述一个以上的第2检测电极的任一者、所述第2布线主体或所述第2检测用端子连接、另一端被设为开放端调整用布线，

所述第1布线主体的至少一部分和所述调整用布线的至少一部分在所述框架上沿所述框架的长度方向延伸。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的传感器元件，其中，

所述压电体具有分别包括所述框架、所述两个驱动臂以及所述检测臂的两个单元，

在所述两个单元各自中，设置有所述多个激振电极、所述一个以上的第1检测电极以及所述一个以上的第2检测电极，

所述多个激振用布线部在所述两个单元彼此中，在相对于所述检测臂位于所述框架的长度方向的一侧的所述驱动臂向相同侧折弯，并且相对于所述检测臂位于所述框架的长度方向的另一侧的所述驱动臂向相同侧折弯的连接关系下，连接所述两个单元的所述多个激振电极，

所述两个单元具有的两个所述框架具有：

相比于所述检测臂更靠所述框架的长度方向的一侧的第1部位；

相比于所述检测臂更靠所述框架的长度方向的另一侧的第2部位，

所述第1检测用布线部位于所述两个框架的所述第1部位以及所述第2部位中的至少所述第1部位，

所述第2检测用布线部位于所述两个框架的所述第1部位以及所述第2部位中的至少所述第1部位，

从所述第1检测用布线部的所述第1部位中的长度中减去所述第1检测用布线部的所述第2部位中的长度得到的第1长度、和从所述第2检测用布线部的所述第1部位中的长度中减去所述第2检测用布线部的所述第2部位中的长度得到的第2长度之差的绝对值为一个所述框架中的所述第1部位的长度的7/2以下。

5.根据权利要求4所述的传感器元件，其中，

所述第1长度和第2长度之差的绝对值为一个所述框架中的所述第1部位的长度的一半以下。