[发明专利]挠性印刷电路板、接合体、压力传感器及质量流量控制装置在审
申请号: | 201980063086.3 | 申请日: | 2019-09-20 |
公开(公告)号: | CN112771657A | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 梅山贵博 | 申请(专利权)人: | 日立金属株式会社 |
主分类号: | H01L23/12 | 分类号: | H01L23/12;H01L21/60 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 印刷 电路板 接合 压力传感器 质量 流量 控制 装置 | ||
1.一种挠性印刷电路板(1a),其特征在于,
该挠性印刷电路板(1a)具有:
绝缘基板(3),其包括供裸芯片(2)安装的表面即第1面(3a)和位于所述第1面(3a)的相反侧的表面即第2面(3b);以及
一个或两个以上的第1导电图案(4),该第1导电图案(4)设于所述第1面(3a),包括第1电极部(4a),该第1电极部(4a)配置于在所述裸芯片(2)安装于所述第1面(3a)的状态即安装状态下与所述裸芯片(2)的凸块(2a)导通的位置,
所述第1导电图案(4)仅设于在所述安装状态下与所述裸芯片(2)相对的区域即安装区域(3c)的内部。
2.根据权利要求1所述的挠性印刷电路板(1a),其特征在于,
所述裸芯片(2)包括测试用电极(2b),
所述第1导电图案(4)避开与所述测试用电极(2b)相对的位置地设置。
3.根据权利要求1或2所述的挠性印刷电路板(1a),其特征在于,
该挠性印刷电路板(1c)具有:
一个或两个以上的通孔(3d),该通孔(3d)贯穿所述绝缘基板(3);以及
第2导电图案(5),其设于所述第2面(3b),
所述第1导电图案(4)和所述第2导电图案(5)经由所述通孔(3d)导通。
4.根据权利要求3所述的挠性印刷电路板(1c),其特征在于,
在该挠性印刷电路板(1d)中,所述第1导电图案(4)包括一个或两个以上的第1连接盘(4b),
所述第2导电图案(5)包括一个或两个以上的第2连接盘(5b),
所述第1连接盘(4b)和所述第2连接盘(5b)经由所述通孔(3d)导通。
5.根据权利要求3或4所述的挠性印刷电路板(1c、1d),其特征在于,
该挠性印刷电路板(1e)还包括绝缘层(10),该绝缘层(10)以覆盖所述第2导电图案的至少局部的方式设置。
6.根据权利要求3~5中任一项所述的挠性印刷电路板(1c、1d、1e),其特征在于,
在该挠性印刷电路板(1f)中,所述第2导电图案(5)包括用于与外部电极(6)导通的第2电极部(5a)。
7.一种接合体(7a、7b),其特征在于,
该接合体(7a、7b)包括:
权利要求1~6中任一项所述的挠性印刷电路板(1a、1c、1d、1e、1f);以及
裸芯片(2)。
8.根据权利要求7所述的接合体(7a、7b),其特征在于,
在该接合体(7c、7d)中,利用各向异性导电膜实现所述凸块(2a)和所述第1电极部(4a)的导通。
9.一种压力传感器(8),其特征在于,
该压力传感器(8)具有权利要求7或权利要求8所述的接合体(7),
所述裸芯片(2)是应变传感器。
10.一种质量流量控制装置,其特征在于,
该质量流量控制装置具有权利要求9所述的压力传感器(8),
该质量流量控制装置构成为利用所述压力传感器(8)监测流体的压力。
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