[发明专利]液体涂敷装置

权利要求书

1.一种液体涂敷装置，其特征在于，具有：

液体贮存部，其贮存液体；

液体余量检测部，其检测所述液体贮存部内的液体余量；

排出部，其向外部排出所述液体贮存部内的所述液体，并且构成为包含液体供给部；

负压产生部，其产生比大气压低的负压，

负压调整容器，其内部被所述负压产生部调整为规定的负压；

压力调整控制部，其根据所述液体余量检测部的检测结果控制所述负压产生部的驱动；以及

压力切换部，其能够将所述液体贮存部内的压力切换为所述负压调整容器内的所述规定的负压，

在通过所述液体余量检测部检测到所述液体贮存部内的液体余量减少的情况下，所述压力调整控制部使由所述负压产生部产生的负压接近大气压，从而成为液体不会从所述排出部漏出并且空气不会进入位于所述液体供给部的内部的液室内的压力。

2.根据权利要求1所述的液体涂敷装置，其特征在于，

该液体涂敷装置还具有生成比大气压高的正压的正压生成部，

所述压力切换部将所述液体贮存部内的压力在由所述正压生成部生成的所述正压、所述负压调整容器内的所述规定的负压以及大气压之间切换。

3.根据权利要求1或2所述的液体涂敷装置，其特征在于，

所述液体余量检测部根据所述液体贮存部内的压力检测所述液体贮存部内的液体余量。

4.根据权利要求2所述的液体涂敷装置，其特征在于，

所述压力切换部具有第一压力切换部和第二压力切换部，该第一压力切换部将所述液体贮存部内的压力在由所述正压生成部生成的所述正压和正压以外的压力之间切换，该第二压力切换部切换大气压和所述负压调整容器内的所述规定的负压作为所述正压以外的压力。

5.根据权利要求1或2所述的液体涂敷装置，其特征在于，

所述排出部具有：

液室，其被供给所述液体；

流入路，其与所述液室连接，并且从所述液体贮存部向所述液室内供给液体；

隔膜，其构成划分所述液室的壁部的一部分，并且通过变形而使所述液室的容积变化；以及

驱动部，其使所述隔膜在厚度方向上变形。