[发明专利]使用粒子显微镜来记录图像的方法在审
申请号: | 201980065284.3 | 申请日: | 2019-10-01 |
公开(公告)号: | CN112805747A | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | D.蔡德勒;T.柯布;P.休思沃尔;J.T.纽曼;C.里德塞尔;C.沃杰克;J.科雷亚;W.霍格尔 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
主分类号: | G06T7/246 | 分类号: | G06T7/246 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王蕊瑞 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 使用 粒子 显微镜 记录 图像 方法 | ||
1.一种使用粒子显微镜来记录图像的方法,其中,该方法包括:
使用该粒子显微镜来记录物体的多个图像,
其中,每个所记录图像与图像数据相关联,
其中,这些图像数据中的每个图像数据包括多个强度值,并且
其中,每个强度值与所记录图像的坐标系中的位置和该物体上的位置相关联;
确定多个关注区域,
其中,每个关注区域与该物体上的至少一个位置相关联;
确定这些所记录图像中的每个所记录图像中的多个图像区域,
其中,该多个图像区域中的每个图像区域与该多个关注区域中的一个关注区域相关联,并且
其中,每个图像区域包括与该物体的该位置的邻域中的位置相关联的强度值,该物体的该位置也与同该图像区域相关联的关注区域相关联;
确定多个位移矢量,
其中,该多个位移矢量中的每个位移矢量与该多个图像区域中的给定图像区域相关联,
其中,该给定图像区域与该多个关注区域中的给定关注区域相关联,
其中,与该给定图像区域相关联的位移矢量是通过将与该给定图像区域相关联的图像数据与也同该给定关注区域相关联的其他图像区域的图像数据进行相关来确定的;以及
基于这些所记录图像的图像数据和所确定的位移矢量来确定图像失真。
2.根据权利要求1所述的方法,进一步包括基于这些所记录图像的图像数据和所确定的图像失真来生成所得图像。
3.根据权利要求2所述的方法,其中,在生成该所得图像时,给定所记录图像的给定图像区域的至少一个强度值与该所得图像的坐标系中的位置相关联,其中,该所得图像的坐标系中的位置是基于与该给定图像区域相关联的位移矢量来确定的。
4.根据权利要求1至3之一所述的方法,其中,分配给该所记录图像的图像区域的位移矢量可以彼此不同。
5.根据权利要求1至4之一所述的方法,
其中,第一位移矢量与给定所记录图像的第一图像区域相关联;
其中,与该所记录图像的第一图像区域中的第一位置相关联的至少一个强度值与该所得图像的坐标系中该所得图像中的第一位置相关联;
其中,第二位移矢量与该给定所记录图像的第二图像区域相关联;
其中,该第二位移矢量与该第一位移矢量不同;
其中,与该所记录图像的第二图像区域中的第二位置相关联的至少一个强度值与该所得图像的坐标系中该所得图像中的第二位置相关联;
其中,该强度值被分配给该所记录图像的第二图像区域中的第二位置;并且
其中,满足以下关系:
B2-B1=O2+V2-O1-V1;
其中,
B1表示该所得图像的坐标系中该第一位置的坐标矢量;
B2表示该所得图像的坐标系中该第二位置的坐标矢量;
O1表示该给定所记录图像的坐标系中该第一位置的坐标矢量;
O2表示该给定所记录图像的坐标系中该第二位置的坐标矢量;
V1表示该第一位移矢量;并且
V2表示该第二位移矢量。
6.根据权利要求5所述的方法,
其中,第三位移矢量被分配给该给定所记录图像的第三图像区域;
其中,该第三图像区域位于该第一图像区域与该第二图像区域之间;
其中,至少一个强度值与该所得图像的坐标系中该所得图像中的第三位置相关联;
其中,该强度值与该所记录图像的第三图像区域中的第三位置相关联;
其中,满足以下关系:
|(O2-O1)i|>|(O3-O1)i|,
|(V2-V1)i|>|(V3-V1)i|,
其中,
O3表示该给定所记录图像的坐标系中该第三位置的坐标矢量;
V3表示该第三位移矢量;
(O2-O1)i表示差矢量(O2-O1)的第i个分量;
(O3-O1)i表示差矢量(O3-O1)的第i个分量;
(V2-V1)i表示差矢量(V2-V1)的第i个分量;并且
(V3-V1)i表示差矢量(V3-V1)的第i个分量。
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