[发明专利]用于控制真空泵的温度的方法以及相关的真空泵和设备

权利要求书

1.一种用于控制承受可变的泵送负载的干式真空泵型的真空泵（2）的温度的方法（100），所述真空泵（2）包括：

定子（5），

至少一个泵送级（T1-T5），

两个轴（6，7），其延伸进入所述至少一个泵送级（T1-T5）中并且分别承载至少一个转子（8），这些转子（8）被配置成在定子（5）中沿相反方向同步旋转，以驱动将被从真空泵（2）的吸入口（9）泵送至输出口（10）的气体（G），

与定子（5）联接的至少一个冷却元件（11a、11b），

至少一个温度传感器（12a、12b），其被配置成进行定子（5）的温度的测量，以及

控制单元（13），其被配置成借助于所述至少一个冷却元件（11a、11b）和所述至少一个温度传感器（12a、12b）来控制定子（5）的温度，

其中，根据温度设定点和定子（5）的温度测量值，借助于与定子（5）联接的所述至少一个冷却元件（11a、11b）来控制真空泵（2）的温度，其特征在于，监控选自真空泵（2）所消耗的功率或所吸取的电流的、指示泵送负载的参数的值是否低于负载阈值，并且如果指示泵送负载的参数的值低于负载阈值（S），则升高温度设定点。

2.根据前一项权利要求所述的方法（100），其特征在于，升高温度设定点以便至少用于借助于与真空泵（2）的被称为低压泵送级的泵送级（T1）联接的冷却元件（11a）来进行温度控制。

3.根据前述权利要求之一所述的方法（100），其中，在已经升高温度设定点之后，监控指示泵送负载的参数的值是否高于负载阈值（S），并且，如果指示泵送负载的参数的值高于负载阈值（S），则在预定的附加时间长度内保持升高的温度设定点。

4.根据前一项权利要求所述的方法（100），其中，所述预定的附加时间长度大于十分钟。

5.根据权利要求1或2所述的方法（100），其中，温度设定点的升高值大于3℃。

6.根据权利要求1或2所述的方法（100），其中，温度设定点的升高值小于20℃。

7.一种干式真空泵型的真空泵（2），其包括：

定子（5），

至少一个泵送级（T1-T5），

两个轴（6，7），其延伸进入所述至少一个泵送级（T1-T5）中并且分别承载至少一个转子（8），这些转子（8）被配置成在定子（5）中沿相反方向同步旋转，以驱动将被从真空泵（2）的吸入口（9）泵送至输出口（10）的气体（G），

与定子（5）联接的至少一个冷却元件（11a、11b），

至少一个温度传感器（12a、12b），其被配置成进行定子（5）的温度的测量，以及

控制单元（13），其被配置成借助于所述至少一个冷却元件（11a、11b）和所述至少一个温度传感器（12a、12b）来控制定子（5）的温度，

其特征在于，所述控制单元（13）被配置成执行根据前述权利要求之一所述的方法（100）。

8.根据前一项权利要求所述的干式真空泵型的真空泵（2），其特征在于，所述真空泵是粗真空泵。

9.根据权利要求7或8所述的干式真空泵型的真空泵（2），其特征在于，所述真空泵包括与所述定子（5）联接的两个冷却元件（11a、11b），所述真空泵（2）的每个轴向端布置一个冷却元件（11a、11b）。

10.一种包括腔室（3）的泵送设备（1），其特征在于，它包括根据权利要求7至9之一所述的干式真空泵型的真空泵（2），该真空泵连接至腔室（3）以用于所述腔室（3）中的泵送。