[发明专利]具有可调高尺寸稳定性的柔性印模

权利要求书

1.一种柔性印模，其至少包括作为纹理层(203)的上层并包括浮凸区域(203B)、增强层(202)、保护层(201)，其中增强层(202)具有10ppm/℃或更低的热膨胀系数，10GPa-200GPa的杨氏模量，300μm以下的层厚度和至少覆盖浮凸区域(203B)的区域，其特征在于增强层被选自纹理层(203)、保护层(201)和一个或多个其他层中的至少一层掩蔽。

2.根据权利要求1所述的柔性印模，其特征在于柔性印模具有20ppm/℃或更低的热膨胀系数。

3.根据前述权利要求中任一项所述的柔性印模，其特征在于柔性印模具有小于30cm的弯曲半径。

4.根据前述权利要求中任一项所述的柔性印模，其特征在于增强层(202)的厚度为0.5μm-300μm，优选40μm-250μm，更优选60μm-200μm，最优选80μm-150μm。

5.根据前述权利要求中任一项所述的柔性印模，其特征在于保护层(201)的厚度为10μm-500μm，优选40μm-400μm，更优选60μm-300μm，最优选80μm-200μm。

6.根据前述权利要求中的任一项所述的柔性印模，其特征在于保护层(201)具有0.1GPa-20GPa，优选10GPa以下的杨氏模量。

7.根据前述权利要求中任一项所述的柔性印模，其特征在于增强层(202)包括玻璃层。

8.根据前述权利要求中的任一项所述的柔性印模，其特征在于保护层(201)位于纹理层(203)和增强层(202)之间。

9.根据前述权利要求中任一项所述的柔性印模，其特征在于所述一个或多个其他层之一是位于增强层(202)下方的第二保护层(205)。

10.根据前述权利要求中任一项所述的柔性印模，其特征在于保护层(201)具有至少覆盖增强层(202)的区域。

11.根据权利要求1-9中的任一项所述的柔性印模，其特征在于保护层(201)除了开放区域(303)之外覆盖增强层。

12.根据前述权利要求1-7、10和11中任一项所述的柔性印模，其特征在于增强层(202)位于纹理层(203)和保护层(201)之间。

13.根据前述权利要求中任一项所述的柔性印模，其特征在于柔性印模包括一个或多个另外的增强层(202)。

14.根据权利要求9所述的柔性印模，其特征在于增强层粘合在保护层(201)和第二保护层(205)之间。

15.根据前述权利要求中任一项所述的柔性印模，其特征在于保护层的材料选自包括聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、双轴取向聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、固化丙烯酸酯材料或固化环氧材料的组。