[发明专利]用于支撑和输送基板的系统和方法

权利要求书

1.一种系统，包括：

印刷系统，包括印刷头组件，该印刷头组件布置成分配用于沉积到基板上的材料；

具有支撑表面的基板支撑装置，所述基板支撑装置包括多个第一通道，所述多个第一通道布置成分配第一气体的流动以建立气体承载，从而使所述基板浮动在所述支撑表面上方；和

输送系统，包括多个第二通道，所述多个第二通道布置成相对于所述支撑表面分配第二气体的流动，以沿着所述支撑表面输送基板。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述输送系统的第二通道与所述基板支撑装置的支撑表面成为一体。

3.根据权利要求1所述的系统，其中，所述支撑表面包括由一个或多个间隙彼此隔开的多个段，并且所述输送系统的第二通道包括布置在所述段之间的所述一个或多个间隙中的多个喷嘴。

4.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第一通道布置成在垂直于所述支撑表面的方向上分配所述第一气体的流动。

5.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第二通道被布置为在相对于所述支撑表面形成锐角的方向上分配所述第二气体的流动。

6.根据权利要求1所述的系统，其中，所述多个第一通道包括多个第一喷嘴以分配所述第一气体的流动，并且所述多个第二通道包括多个第二喷嘴以分配所述第二气体的流动。

7.根据权利要求6所述的系统，其中，所述第一喷嘴布置成在垂直于所述支撑表面的方向上分配所述第一气体的流动，并且所述第二喷嘴布置成在相对于支撑表面成锐角的方向上分配所述第二气体的流动。

8.根据权利要求6所述的系统，其中，所述第二喷嘴设置在所述浮动台的非外围区域。

9.根据权利要求1所述的系统，其中，所述多个第二通道包括多个喷嘴，所述喷嘴被配置为在相对于所述支撑表面形成锐角的方向上分布所述第二气体的流动。

10.根据权利要求1所述的系统，其中，所述多个第一通道包括多个喷嘴以分配所述第一气体的流动以使所述基板浮动，其中，所述第二通道相对于所述支撑表面成一定角度，从而在相对于支撑表面成锐角的方向上分配所述第二气体的流动。

11.根据权利要求1所述的系统，其中，所述多个第一通道包括多个第一喷嘴，并且其中，所述多个第二通道包括多个第二喷嘴，每个所述第一喷嘴和所述第二喷嘴具有喷嘴头，所述喷嘴头为：相对于支撑表面可枢转并且可相对于喷嘴头的垂直于支撑表面的轴线旋转。

12.根据权利要求11所述的系统，还包括一个或多个控制器，每个控制器被配置为调节所述喷嘴头的枢转角度和旋转角度中的至少一个。

13.根据权利要求12所述的系统，还包括一个或多个电机，其中，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴中的每一个均连接至所述一个或多个电机，并且其中，所述一个或多个电机可由所述一个或多个控制器控制，以调节喷嘴头的枢转角度和旋转角度中的至少一个。

14.根据权利要求12所述的系统，其中，所述一个或多个控制器被配置为调节所述第一喷嘴以在垂直于所述支撑表面的方向上分配所述第一气体的流动，并且调节所述第二喷嘴以在相对于支撑表面成锐角的方向上分配所述第二气体的流动。

15.根据权利要求14所述的系统，其中，所述锐角相对于所述支撑表面为大约5度至30度。

16.根据权利要求14所述的系统，其中，所述锐角相对于所述支撑表面为大约30度至45度。

17.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第一气体的流动与所述第二气体的流动处于不同的压力下。