[发明专利]压电的多层器件和用于制造压电的多层器件的方法在审
申请号: | 201980066794.2 | 申请日: | 2019-10-01 |
公开(公告)号: | CN114127969A | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 丹尼斯·奥罗塞尔;王永力 | 申请(专利权)人: | TDK电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L41/187 | 分类号: | H01L41/187;H01L41/37;H01L41/43 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张春水;支娜 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 多层 器件 用于 制造 方法 | ||
1.一种压电的多层构件,其包括陶瓷基体(1),所述陶瓷基体包含陶瓷材料,其中
-所述陶瓷材料的主要组分具有一般通式(KxNa1-x)NbO3,并且适用:0≤x≤1,
-并且所述陶瓷材料包含至少两种添加物,所述添加物选自分别包含至少一种金属的化合物的集合,所述至少一种金属选自至少包含K、Nb、Cu、Mn、Ta的金属的集合。
2.根据权利要求1所述的压电的多层构件,
其中所述多层构件适合于在大气压等离子体发生器中使用。
3.根据权利要求1或2所述的压电的多层构件,
其中所述陶瓷基体(1)具有多个内电极(2)。
4.根据权利要求3所述的压电的多层构件,
其中所述内电极(2)由选自如下集合的材料构成,所述集合至少包含Ag、Pd、Pt、Cu、Ni和由至少两种提到的金属构成的合金。
5.一种用于制造压电的多层器件的方法,所述多层器件包括陶瓷基体(1),所述陶瓷基体包含陶瓷材料,其中所述方法包括第一煅烧步骤和第二煅烧步骤。
6.根据权利要求5所述的方法,
其中所述第二煅烧步骤在如下最高温度执行,所述最高温度与执行所述第一煅烧步骤所处于的最高温度不同。
7.根据权利要求6所述的方法,
其中所述第一煅烧步骤在选自700℃至800℃的范围的最高温度执行,并且所述第二煅烧步骤在选自800℃至900℃的范围的最高温度执行。
8.根据权利要求5至7中任一项所述的方法,
其中对于所述第二煅烧步骤选择保持时间,所述保持时间等于所述第一煅烧步骤的保持时间。
9.根据权利要求8所述的方法,
其中所述第一煅烧步骤和所述第二煅烧步骤分别在选自两小时至六小时的范围的保持时间中执行。
10.一种用于制造压电的多层器件的方法,所述多层器件包括陶瓷基体(1),所述陶瓷基体包含陶瓷材料,
其中将用于制造所述陶瓷材料的初始材料在水中进行工艺处理。
11.根据权利要求5至10中任一项所述的方法,
其中执行烧结步骤,对于所述烧结步骤选择在1000℃和1080℃之间的最高温度以及在30分钟和120分钟之间的保持时间。
12.根据权利要求5至11中任一项所述的方法,
其中在惰性气氛中执行烧结步骤。
13.根据权利要求5至12中任一项所述的方法,
其中在烧结步骤之后执行退火步骤。
14.根据权利要求13所述的方法,
其中对于所述退火步骤选择在800℃和900℃之间的最高温度以及在一小时和两小时之间的保持时间。
15.根据权利要求13或14所述的方法,
其中作为在所述退火步骤期间的气氛,选择空气或具有2×10-1至2×10-6bar的氧气分压的气氛。
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