[发明专利]热辐射光源

说明书

本发明提供热辐射光源，所述热辐射光源能够以使基板和热辐射层露出于大气中的状态设置，而且，在4μm以下的窄频带的波长中具有大的放射率、且大于4μm的波长的放射率小。热辐射光源，层叠有热辐射层(N)和加热该热辐射层(N)的基板(K)，其中，热辐射层(N)以如下的状态构成：以具备MIM层叠部(M)的辐射控制部(Na)和由透明氧化物形成的放射用透明氧化物层(Nb)的顺序位于靠近基板(K)的一侧的形态层叠辐射控制部(Na)和放射用透明氧化物层(Nb)，所述MIM层叠部(M)使由透明氧化物形成的共振用透明氧化物层(R)位于沿着层叠的方向排列的铂层(P)之间，共振用透明氧化物层(R)的厚度是以4μm以下的波长为共振波长的厚度。

技术领域

本发明涉及热辐射光源，其层叠有热辐射层和加热该热辐射层的基板。

背景技术

所述热辐射光源是通过利用基板将热辐射层加热成高温状态，使加热被加热物的辐射光从热辐射层放射。

作为所述热辐射光源，有在由石英玻璃等透光性气密构件形成的密封管的内部以密封状态配设基板和热辐射层，使密封管的内部成为真空状态、或者在密封管的内部封入氮气等惰性气体的热辐射光源(例如参照专利文献1。)。

在专利文献1中，基板由通过流过电流而发热的钨等高熔点金属构成，热辐射层由钽、钼等的金属层形成，将基板或热辐射层以密封状态配设在密封管的内部，从而防止基板或热辐射层因氧化而引起的劣化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-138638号公报。

发明内容

发明所要解决的课题

以往的热辐射光源是将基板或热辐射层以密封状态配设在密封管的内部，因此整体结构复杂且昂贵，所以迫切希望能够以使基板和热辐射层露出于大气中的状态设置的热辐射光源。

另外，例如为了像加热灯那样通过石英玻璃加热被加热物等目的，迫切希望在4μm以下的窄频带的波长(即中红外光以下的窄频带的波长)中具有大的辐射率(放射率)、且大于4μm的波长(即远红外光)的辐射率(放射率)小的热辐射光源。

即，例如在通过石英玻璃加热被加热物时，若放射大于4μm的波长的远红外光，则石英玻璃吸收远红外光而达到高温，因此需要冷却石英玻璃的大型设备，存在用于加热收纳在石英玻璃管内部的被加热物的设备变得繁杂等不良情形。

本发明是鉴于上述实情而提出的发明，其目的在于提供热辐射光源，该热辐射光源能够以使基板和热辐射层露出于大气中的状态设置，而且，在4μm以下的窄频带的波长中具有大的辐射率、且大于4μm的波长的辐射率小。

用于解决课题的手段

本发明的热辐射光源是层叠有热辐射层和加热该热辐射层的基板的热辐射光源，其特征构成在于：

上述热辐射层以如下的状态构成：以具备MIM层叠部的辐射控制部和由透明氧化物形成的放射用透明氧化物层的顺序位于靠近上述基板的一侧的形态层叠上述辐射控制部和上述放射用透明氧化物层，所述MIM层叠部使由透明氧化物形成的共振用透明氧化物层位于沿着上述热辐射层与上述基板的层叠方向排列的一对铂层之间，

上述共振用透明氧化物层的厚度是以4μm以下的波长为共振波长的厚度。

即，由于热辐射层是以如下的状态构成：以具备MIM层叠部的辐射控制部和放射用透明氧化物层的顺序使辐射控制部位于靠近基板的一侧的形态层叠辐射控制部和放射用透明氧化物层，所以若热辐射层被基板加热成高温状态，则具备MIM层叠部的辐射控制部放射辐射光，该辐射光从放射用透明氧化物层放射。