[发明专利]由四氯硅烷和氢硅烷合成三氯硅烷

权利要求书

1.制备三氯硅烷(HSiCl₃)的工艺，其包括使四氯硅烷(SiCl₄)与至少一种氢硅烷在至少一种催化剂的存在下反应。

2.根据权利要求1所述的制备三氯硅烷(HSiCl₃)的工艺，其中所述至少一种氢硅烷选自下式：

R_nSiX_mH_4-n-m (1)，

和

R_oSi₂X_pH_6-o-p (2)，

其中

R为有机基团，

X为卤素或烷氧基，

n为0-3、优选1-3、更优选2，

m为0-2、优选0，和

n+m＝0-3、优选1-3、更优选2，

o为0-5、优选1-5，

p为0-5、优选0，和

o+p＝1-5。

3.根据前述权利要求任一项所述的工艺，其中

R选自芳族或具有最高达6个碳原子的脂族烃基团、优选地C1-C6烷基基团、更优选地C1-C4烷基基团、最优选地甲基基团，

X优选为氯或溴、更优选氯。

4.根据前述权利要求任一项所述的工艺，其中所述氢硅烷选自SiH₄、H₃SiCl、H₂SiCl₂、MeSiH₃、Me₃SiH、Me₂SiH₂、Et₂SiH₂、MeSiHCl₂、Me₂SiHCl、PhSiH₃、Ph₂SiH₂、PhMeSiH₂、iPr₂SiH₂、Hex₂SiH₂、tBu₂SiH₂、Me₂Si(OEt)H、ViSiH₃、ViMeSiH₂、Me₂HSi–SiHMe₂、MeH₂Si–SiH₂Me、MeH₂Si–SiHMe₂、Me₃Si–SiHMe₂、Me₃Si–SiH₂Me、和H₃Si–SiH₃，优选地Me₂SiH₂。

5.根据前述权利要求任一项所述的工艺，其中所述至少一种催化剂选自：

-一种或多种具有式R¹₄QZ的化合物，其中R¹独立地选自氢或者有机基基团、更优选地芳族基团或脂族烃基团、甚至更优选地正烷基基团、和最优选地正丁基基团，Q为磷、氮、砷、锑或铋，并且Z为卤素，

-一种或多种具有式R¹₃P的膦，其中R¹如以上定义，优选有机基基团；优选地PPh₃或n-Bu₃P，

-一种或多种具有式R¹₃N的胺，其中R¹如以上定义，优选有机基基团；优选地n-Bu₃N或NPh₃，

-一种或多种N-杂环胺、优选非N取代的甲基咪唑，例如2-甲基咪唑和4-甲基咪唑，

-一种或多种碱金属卤化物，例如LiCl，和

-一种或多种碱土金属卤化物。