[发明专利]扫描镜致动器框架

权利要求书

1.一种用于扫描镜组件的致动器框架，包括：

安装构件，包括第一侧和相对的第二侧；

第一可移动构件，包括与所述安装构件的所述第一侧限定第一间隙和第二间隙的第一内侧；

第二可移动构件，包括与所述安装构件的所述第二侧限定第三间隙和第四间隙的第二内侧；

第一铰链，将所述安装构件的中心部分与所述第一可移动构件连接，以及

第二铰链，将所述安装构件的所述中心部分与所述第二可移动构件连接。

2.根据权利要求1所述的致动器框架，其中所述第一铰链将所述第一间隙与所述第二间隙隔开，并且所述第二铰链将所述第三间隙与所述第四间隙隔开。

3.根据权利要求1所述的致动器框架，其中所述安装构件包括安装用平坦底部表面，所述第一可移动构件包括第一平坦底部表面，并且所述第二可移动构件包括第二平坦底部表面，并且所述安装用平坦底部表面、所述第一平坦底部表面和所述第二平坦底部表面共面。

4.根据权利要求1所述的致动器框架，其中所述安装构件包括：

第一平坦安装部分；

在所述第一平坦安装部分和所述中心部分之间的第一肘部；

第二平坦安装部分；和

在所述第二平坦安装部分和所述中心部分之间的第二肘部。

5.根据权利要求1所述的致动器框架，其中所述安装构件固定到基板，并且所述第一可移动构件和所述第二可移动构件在所述基板上方浮置。

6.根据权利要求5所述的致动器框架，其中所述安装构件通过间隔件固定到所述基板。

7.根据权利要求5所述的致动器框架，其中所述安装构件被直接固定到所述基板。

8.一种扫描镜系统，包括：

致动器框架，包括：

安装构件，包括第一侧和相对的第二侧；

第一可移动构件，包括与所述安装构件的所述第一侧限定第一间隙和第二间隙的第一内侧；

第二可移动构件，包括与所述安装构件的所述第二侧限定第三间隙和第四间隙的第二内侧；

第一铰链，将所述安装构件的中心部分与所述第一可移动构件连接，以及

第二铰链，将所述安装构件的所述中心部分与所述第二可移动构件连接；

多个致动器，固定到所述第一可移动构件和所述第二可移动构件；和

扫描镜组件，固定到所述第一可移动构件和所述第二可移动构件。

9.根据权利要求8所述的扫描镜系统，还包括基板，其中所述安装构件固定到所述基板，并且所述第一可移动构件和所述第二可移动构件在所述基板上方浮置。

10.根据权利要求9所述的扫描镜系统，还包括位于所述安装构件和所述基板之间的间隔件，其中所述安装构件通过所述间隔件固定到所述基板。

11.根据权利要求9所述的扫描镜系统，其中所述安装构件直接固定到所述基板。

12.根据权利要求8所述的扫描镜系统，其中所述扫描镜组件包括：

固定到所述第一可移动构件的第一锚部分；和

固定到所述第二可移动构件的第二锚部分。

13.根据权利要求8所述的扫描镜系统，其中所述第一铰链将所述第一间隙与所述第二间隙隔开，并且所述第二铰链将所述第三间隙与所述第四间隙隔开。

14.根据权利要求8所述的扫描镜系统，其中所述安装构件包括安装用平坦底部表面，所述第一可移动构件包括第一平坦底部表面，所述第二可移动构件包括第二平坦底部表面，并且所述安装用平坦底部表面、所述第一平坦底部表面和所述第二平坦底部表面共面。

15.根据权利要求8所述的扫描镜系统，其中所述安装构件包括：

第一平坦安装部分；

在所述第一平坦安装部分和所述中心部分之间的第一肘部；

第二平坦安装部分；和

在所述第二平坦安装部分和所述中心部分之间的第二肘部。