[发明专利]用于声学感测的聚合物涂布的高折射率波导

权利要求书

1.一种装置，其包括：

声学传感器，其包括光波导，所述光波导包括：

波导芯，其具有波导芯折射率和波导芯光弹性系数；

外包层，其连接至所述波导芯并且包括光学透明的聚合物，所述外包层具有外包层折射率和外包层光弹性系数；

其中所述波导芯折射率大于所述外包层折射率，并且所述外包层光弹性系数大于所述波导芯光弹性系数。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述外包层包括双苯并环丁烯(BCB)外包层。

3.根据权利要求1所述的装置，其中所述波导芯折射率是至少1.7。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述波导芯的光弹性系数的最大量值是20TPa^-1。

5.根据权利要求1所述的装置，其中所述外包层折射率小于1.7。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述外包层光弹性系数是至少80TPa^-1。

7.根据权利要求1所述的装置，其中所述外包层光弹性系数比所述波导芯光弹性系数大至少四倍。

8.根据权利要求1所述的装置，其中所述外包层的光学透明的聚合物的杨氏模量在10(E)GPa以下。

9.根据权利要求1所述的装置，其中所述外包层的光学透明的聚合物的杨氏模量在5(E)GPa以下。

10.根据权利要求1所述的装置，其中所述波导芯包括硅。

11.根据权利要求1-10中任一项所述的装置，其进一步包括光源，所述光源布置为使得由所述光源产生并在所述光波导处定向的光学信号由于撞击所述光波导的声波而进行调制。

12.根据权利要求11所述的装置，其中所述光源包括配置为产生激光束的激光器。

13.根据权利要求11所述的装置，其中由所述光源产生的信号以相位进行调制。

14.根据权利要求11所述的装置，其中由所述光源产生的信号以振幅进行调制。

15.根据权利要求1-10中任一项所述的装置，其中所述光波导包括一个或多个光学共振器。

16.根据权利要求15所述的装置，其中所述光波导是共振器。

17.根据权利要求15所述的装置，其中所述一个或多个光学共振器选自：π相移布拉格光栅(π-BG)、法布里-珀罗腔、和光学环共振器。

18.根据权利要求15所述的装置，其中所述光波导的最大长度为100微米。

19.根据权利要求1-10中任一项所述的装置，其进一步包括下包层。

20.一种系统，其包括：

光波导，所述光波导包括：

波导芯，其具有波导芯折射率和波导芯光弹性系数；

外包层，其连接至所述波导芯并且包括光学透明的聚合物，所述外包层具有小于所述波导芯折射率的外包层折射率和大于所述波导芯光弹性系数的外包层光弹性系数；

干涉仪，其配置为由激光源产生在所述光波导处定向的激光束，使得激光束传播通过所述光波导，由此通过撞击所述光波导的声波调制所述激光束。