[发明专利]用于确定光学介质的折射率的方法和显微镜

权利要求书

1.一种用于确定显微镜(10、78)中的光学介质的折射率的方法，该显微镜具有面向样本空间(14)的物镜(12)，

其中，具有待确定的折射率的所述光学介质是两种光学介质(26、28)之一，这些光学介质在所述样本空间(14)中与盖玻片或载玻片(24)的两个相反的表面(64、68)邻接，由此形成两个部分反射的界面，这些界面相距所述物镜(12)以不同的间距布置，

其特征在于，

使得测量光束(34)透过所述物镜(12)在倾斜地入射情况下转向至所述盖玻片或载玻片(24)，

产生两个在空间上彼此分开的反射光束(54a、54b)，其方式为，使得所述测量光束(34)分别部分地在两个所述界面上反射，

使得两个所述反射光束(54a、54b)被所述物镜(12)接收，并且转向至对位置灵敏的探测器(60)，

借助所述对位置灵敏的探测器(60)来检测两个所述反射光束(54a、54b)的强度，和

基于两个所述反射光束(54a、54b)的所检测的强度来求取所述光学介质的折射率。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，一种光学介质的折射率与另一种光学介质的折射率、所述盖玻片或载玻片(24)的折射率和所述测量光束(34)的数值孔径相关地求取。

3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，一种光学介质的折射率基于两个所述反射光束(54a、54b)的强度比例来求取。

4.如权利要求1～3中任一项所述的方法，其特征在于，把所述测量光束(34)引入所述物镜(12)的入射光瞳(52)的部分区域中，该部分区域相对于所述入射光瞳(52)的中心错开。

5.如权利要求1～4中任一项所述的方法，其特征在于，通过所述测量光束(34)在两个界面上分别产生测量图样，两个测量图样被两个所述反射光束(54a、54b)成像到所述对位置灵敏的探测器(60)上。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，以在空间上的强度分布(V)的形式来检测成像到所述对位置灵敏的探测器(60)上的两个测量图样，由该强度分布来确定两个所述反射光束(54a、54b)的强度。

7.如权利要求1～6中任一项所述的方法，其特征在于，所述一种光学介质是用于样本的包埋介质，该包埋介质与所述盖玻片或载玻片(24)的两个面(64、68)之一邻接。

8.如权利要求1～7中任一项所述的方法，其特征在于，所述另一种光学介质是浸没介质，该浸没介质与所述盖玻片或载玻片(24)的另一表面邻接且与所述物镜(12)邻接。

9.一种显微镜，包括：

带有盖玻片或载玻片(24)和两种光学介质(26、28)的样本空间(14)；

指配于所述样本空间(14)的物镜(12)；

两个部分反射的界面，这些界面在所述样本空间(14)中相距所述物镜(12)不同间距地布置，并以如下方式形成：两种所述光学介质(26、28)在所述样本空间(14)中与所述盖玻片或载玻片(24)的两个相反的表面(64、68)邻接；和，

用于确定两种所述光学介质(26、28)之一的折射率的机构(30)，

其特征在于，

所述机构被设计用来使得测量光束(34)透过所述物镜在倾斜地入射情况下转向至所述盖玻片或载玻片(24)，

所述机构(30)被设计用于产生两个在空间上彼此分开的反射光束(54a、54b)，其方式为，使得所述测量光束(34)分别部分地在两个界面上反射，

所述机构具有对位置灵敏的探测器(60)，并且被设计用于使得两个所述反射光束(54a、54b)被所述物镜(12)接收并且转向到所述对位置灵敏的探测器(60)上，

所述对位置灵敏的探测器(60)被设计用于检测两个所述反射光束(54a、54b)的强度，以及

所述机构(30)包括求取单元，该求取单元被设计用来基于两个所述反射光束(54a、54b)的所检测的强度来求取所述光学介质的折射率。