[发明专利]半导体工艺中的智能图像跟踪系统

说明书

本发明涉及一种半导体工艺中的智能图像跟踪系统。本发明包括：图像捕获单元，其包括布置在半导体装置的多个点处的相机，以捕获由半导体装置执行的对对象进行的处理过程；装置控制器，其被配置为控制半导体装置的操作并发送作为用于识别对象的信息的对象识别信息、对象的映射到时间信息的位置信息、以及指示半导体装置的当前操作状态的操作状态信息；以及网络图像记录设备，其被配置为执行控制以将相机识别信息添加到从图像捕获单元接收到的图像信息中并将添加有相机识别信息的图像信息存储在图像数据库中，并且被配置为执行控制以将从装置控制器接收到的包括对象识别信息、对象的映射到时间信息的位置信息以及操作状态信息的跟踪信息存储到跟踪数据库中，相机识别信息用于识别捕获图像信息的相机。本发明可以为用户提供支持，使得用户能够跟踪从作为半导体工艺的处理对象的晶片、批量等投入到子装置中直到完成半导体工艺为止的整个过程。

技术领域

本发明涉及一种半导体工艺中的智能图像跟踪系统，更具体地，涉及一种支持用户能够跟踪从作为半导体工艺的处理对象的晶片、批次等投入到构成半导体装置的子装置中直到半导体工艺完成为止的整个工艺的半导体工艺中的智能图像跟踪系统。

背景技术

通常，半导体工艺以连续执行子工艺的方式进行，并且半导体装置可以说是用于构成整个半导体工艺的子工艺的装置的集合。

由于半导体工艺是多个子工艺的集合，因此有必要与工艺管理相关联地跟踪在整个半导体工艺中的哪个步骤中处理特定晶片或容纳该晶片的批次。

根据与半导体工艺管理相关联的现有的图像记录方法，在可以捕获构成整个半导体装置的子装置的处理操作的位置处设置多个相机，并且由相机捕获的图像可以仅与相机的ID匹配而进行存储。

然而，根据现有技术，当用户想要查询作为半导体工艺的对象的特定晶片的当前状态时，如果在多个相机中输入特定相机的ID，则由于图像记录装置只是向用户显示由相应相机捕获的个别图像，因此存在用户无法检查整个半导体工艺的问题。即，根据现有技术，图像记录装置将由设置在特定位置的相机捕获的图像记录为个别图像，因此，用户难以跟踪从作为半导体工艺对象的晶片、批次等投入到构成半导体装置的子装置中直到半导体工艺完成为止的整个工艺。

[现有技术文献]

[专利文献]

(专利文献0001)韩国授权专利第10-1619097号(授权日期：2016年5月2日，发明名称“半导体制造工艺中的过程监控系统”)

(专利文献0002)韩国专利公开第10-2005-0048121号(公开日期：2005年5月24日，发明名称“蚀刻装置的监控系统及其监控方法”)

发明内容

技术问题

本发明旨在提供一种半导体工艺中的智能图像跟踪系统，其允许用户能够跟踪从作为半导体工艺的处理对象的晶片、批次等投入到构成半导体装置的子装置中直到半导体工艺完成为止的整个工艺。

解决方案

为了解决上述技术问题，根据本发明的半导体工艺中的智能图像跟踪系统包括：图像捕获单元，其包括布置在半导体装置的多个点处的相机，以捕获由半导体装置执行的对对象进行的处理过程；装置控制器，其被配置为控制半导体装置的操作并发送对象识别信息、对象的映射到时间信息的位置信息、以及指示半导体装置的当前操作状态的操作状态信息，其中所述对象识别信息为用于识别所述对象的信息；以及网络图像记录设备，其被配置为执行控制以将相机识别信息添加到从图像捕获单元接收到的图像信息中并将添加有相机识别信息的图像信息存储在图像数据库中，并且被配置为执行控制以将从装置控制器接收到的包括对象识别信息、对象的映射到时间信息的位置信息以及操作状态信息的跟踪信息存储到跟踪数据库中，其中，相机识别信息用于识别捕获图像信息的相机。