[发明专利]微镜器件及微镜器件的驱动方法

权利要求书

1.一种微镜器件，其具备：

反射镜部，其具有反射入射光的反射面；

环状的第1致动器，其配置成包围所述反射镜部；

环状的第2致动器，其配置成包围所述第1致动器；

第1连接部，其在位于包含所述反射镜部的静止时的所述反射面的平面内的第1轴上连接所述反射镜部和所述第1致动器，并且将所述反射镜部支承为能够绕所述第1轴转动；

第2连接部，其在包含所述反射镜部的静止时的所述反射面的平面内的与所述第1轴正交的第2轴上连接所述第1致动器和第2致动器，并且将所述第1致动器支承为能够绕所述第2轴转动；

第3连接部，其在所述第2轴上连接于所述第2致动器的外周；以及

固定部，其连接有所述第3连接部，并经由该第3连接部支承所述第2致动器，

所述第1致动器以及所述第2致动器分别为具备压电元件的压电致动器，

在俯视的状态下，在所述反射镜部与所述固定部之间仅具有所述第1致动器和所述第2致动器作为包围所述反射镜部的环状的部件，

所述第1致动器为1重的环状，

所述第2致动器为1重的环状，

所述第1致动器以及所述第2致动器使绕所述第1轴的旋转扭矩作用于所述反射镜部，并且使绕所述第2轴的旋转扭矩作用于所述反射镜部以及第1致动器，由此绕所述第1轴以及所述第2轴二维旋转驱动所述反射镜部。

2.根据权利要求1所述的微镜器件，其中，

所述第1致动器包含半环状的一对第1可动部，

所述第2致动器包含半环状的一对第2可动部，

所述第1连接部在所述第1轴上分别连接所述反射镜部和所述一对第1可动部各自的一端、以及所述反射镜部和所述一对第1可动部各自的另一端，

所述第2连接部在所述第2轴上分别连接所述一对第1可动部中的一个和所述一对第2可动部各自的一端、以及所述一对第1可动部中的另一个和所述一对第2可动部各自的另一端。

3.根据权利要求1或2所述的微镜器件，其中，

在所述反射镜部绕所述第1轴倾斜振动且以所述反射镜部和所述第1致动器以彼此相反的相位倾斜振动的共振模式中最低阶模式驱动的情况下，

所述反射镜部的位移倾斜量|Zm/Lm|与所述第1致动器的位移倾斜量|Za₁₁/La₁₁|之比R1＝|Zm/Lm|/|Za₁₁/La₁₁|为9.4≤R1≤87。

4.根据权利要求3所述的微镜器件，其中，

所述比R1为16≤R1。

5.根据权利要求1或2所述的微镜器件，其中，

在所述反射镜部以及所述第1致动器绕所述第2轴倾斜振动且以所述反射镜部以及所述第1致动器、和所述第2致动器以彼此相反的相位倾斜振动的共振模式中最低阶模式驱动的情况下，

所述第1致动器的位移倾斜量|Za₁₂/La₁₂|与所述第2致动器的位移倾斜量|Za₂₂/La₂₂|之比R2＝|Za₁₂/La₁₂|/|Za₂₂/La₂₂|为0.75≤R2≤27。

6.根据权利要求5所述的微镜器件，其中，

所述比R2为2.3≤R2。

7.根据权利要求1或2所述的微镜器件，其中，

所述固定部具有大于所述反射镜部、所述第1致动器以及所述第2致动器的厚度。

8.根据权利要求7所述的微镜器件，其中，

所述第1致动器具备由与所述固定部相同的厚度的结构体构成的第1阻挡部。

9.根据权利要求7所述的微镜器件，其中，

所述第2致动器具备由与所述固定部相同的厚度的结构体构成的第2阻挡部。