[发明专利]工件检查装置和工件检查方法

说明书

工件检查装置(1)具有工作台(3)、摄像固定部(7)、第1投光部(4)、第2投光部(5)、直线移动机构(8)、使摄像部(6)相对于摄像固定部自如转动的转动机构(9)、优良与否判定部(10)和控制部(11)。控制部(11)具有以下工序：第1拍摄工序，利用第1投光部(4)照射光，利用摄像部(6)进行拍摄；详细检查部分判定工序，将根据第1拍摄工序中拍摄的图像判定为需要进行工件(2)的详细检查的部分设定为需要详细检查部分；第2拍摄工序，针对需要详细检查部分，通过第2投光部(5)对工件(2)照射光，并利用摄像部(6)进行拍摄；优良与否判定工序，根据第2拍摄工序中拍摄到的图像进行需要详细检查部分的优良与否判定。

技术领域

本发明涉及工件检查装置和工件检查方法。

背景技术

以往，公知有根据拍摄玻璃基板而得到的图像数据来判定玻璃基板的好坏的检查装置(例如参照日本特开2002-5850号公报)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-5850号公报

发明内容

发明要解决的课题

在根据拍摄工件而得到的图像来检查工件的装置中，考虑如下的检查装置：通过基于拍摄图像进行的平面图像分析和基于利用了狭缝光的图像进行的高低差分析等，来判定工件的好坏，但是，一般而言，存在如下问题：越提高检查精度，则检查的周期时间越长。

本发明鉴于以上情况，其目的在于，提供能够进行高精度的检查、且能够缩短周期时间的工件检查装置和工件检查方法。

用于解决课题的手段

为了实现上述目的，本发明是一种工件检查装置，其利用摄像部对工件的表面进行拍摄并判定优良与否，其特征在于，所述工件检查装置具有：工作台，其载置所述工件；摄像固定部，其对与所述工件分离配置的所述摄像部进行固定；第1投光部；第2投光部；直线移动机构，其进行直线移动而自如调整所述工作台与所述摄像固定部之间的相对距离；转动机构，其具有处于与所述直线移动机构的移动方向正交的方向上的旋转轴，以所述旋转轴为轴使所述摄像部相对于所述摄像固定部自如转动；优良与否判定部，其根据所述摄像部的图像进行工件的优良与否判定；以及控制部，其对所述直线移动机构和所述转动机构进行控制，所述控制部具有以下工序：第1拍摄工序，通过所述第1投光部对所述工件照射光，利用所述摄像部进行拍摄；详细检查部分判定工序，在存在根据所述第1拍摄工序中拍摄到的图像判定为需要进行所述工件的详细检查的部分的情况下，将判定出的所述部分设为需要详细检查部分；第2拍摄工序，在所述详细检查部分判定工序中设定了所述需要详细检查部分的情况下，通过所述第2投光部对所述工件的所述需要详细检查部分照射光，利用所述摄像部对所述需要详细检查部分进行拍摄；以及优良与否判定工序，根据在所述第2拍摄工序中拍摄到的图像进行所述需要详细检查部分的优良与否判定。

根据本发明，通过第2投光部，仅拍摄在通过第1投光部进行拍摄时判定为需要进行详细检查的部分以进行最终的工件的优良与否判定，因此，能够提供可进行高精度的检查、且能够缩短周期时间的工件检查装置。

此外，在本发明中，优选所述摄像部通过所述转动机构而被自如配置于第1位置，该第1位置是接收所述第1投光部的投光在所述工件被镜面反射后的反射光的位置，并且，所述摄像部通过所述转动机构而被自如配置于第2位置，该第2位置是接收所述第2投光部的投光在所述工件被镜面反射后的反射光的位置，所述第2投光部的投光以与所述第1投光部的投光向所述工件入射的入射角度不同的入射角度投光到所述工件，为了防止在所述摄像部接收所述第1投光部的反射光的情况下和接收所述第2投光部的反射光的情况下因入射角度的不同而导致的差异而引起的对焦偏差，利用所述直线移动机构调整所述工作台与所述摄像固定部之间的相对距离以进行对焦。