[发明专利]干涉仪元件、光谱仪和用于运行干涉仪的方法

权利要求书

1.用于在光谱仪（100）中使用的干涉仪元件（125），其中，所述干涉仪元件（125）具有下述特征：

- 微机械式法布里-珀罗滤波元件（FPI1、FPI2），所述法布里-珀罗滤波元件至少具有第一镜元件（135）、第二镜元件（140）和第三镜元件（145），所述第一镜元件、所述第二镜元件和所述第三镜元件串联地布置在所述干涉仪元件（125）的光路（120）中，并且其中，所述第一镜元件（135）与所述第二镜元件（140）之间的第一间距（160）和/或所述第二镜元件（140）与所述第三镜元件（145）之间的第二间距（165）能够被改变。

2.根据权利要求1所述的干涉仪元件（125），其中，所述第一镜元件（135）的材料与所述第二镜元件（140）的材料不同和/或所述第二镜元件（140）的材料与所述第三镜元件（145）的材料不同，尤其是从而使得形成的镜在反射时具有相突变的不同的色散。

3.根据权利要求2所述的干涉仪元件（125），其中，所述第一镜元件（135）的、所述第二镜元件（140）的和/或所述第三镜元件（145）的材料是金属材料或者含金属的材料，和/或在折射率方面不同。

4.根据上述权利要求中任一项所述的干涉仪元件（125），其具有操控单元（195），所述操控单元用于电操控对所述第一间距（160）的改变和/或对所述第二间距（165）的改变，尤其是其中，所述操控单元（195）构造并且设置用于周期性地重复对所述第一间距（160）的改变和/或对所述第二间距（165）的改变。

5.根据权利要求4所述的干涉仪元件（125），其中，所述操控单元（195）构造并且设置用于以静电的、压电的和/或磁性的方式改变所述第一间距（160）和/或所述第二间距（165）。

6.根据权利要求4或者5所述的干涉仪元件（125），其中，所述操控单元（195）构造并且设置用于响应于读取的间距信号（198）改变所述第一间距（160）和/或所述第二间距（165），其中，所述间距信号（198）代表当前的第一间距（160）和/或当前的第二间距（165），和/或其中，所述操控单元（195）构造用于通过所述改变调设穿过所述法布里-珀罗滤波元件（FPI1、FPI2）的光的最大透射率。

7.根据上述权利要求中任一项所述的干涉仪元件（125），其中，所述法布里-珀罗滤波元件（FPI1、FPI2）的第一镜元件（135）、第二镜元件（140）和/或第三镜元件（145）的弹簧张力和/或弹簧弹性不同。

8.根据上述权利要求中任一项所述的干涉仪元件（125），其中，这样构型所述法布里-珀罗滤波元件（FPI1、FPI2），使得在使用所述干涉仪元件（125）的情况下待检查的物体（115）能够定位到所述第一镜元件（135）与所述第二镜元件（140）之间和/或所述第二镜元件（140）与所述第三镜元件（145）之间。

9.根据上述权利要求中任一项所述的干涉仪元件（125），其具有光谱过滤元件（130），所述光谱过滤元件用于衰减和/或阻挡预定的波长范围的光（110）穿过所述干涉仪元件（125）的透射。

10.根据上述权利要求中任一项所述的干涉仪元件（125），其具有至少一个第四镜元件（610），所述第四镜元件相对于所述第一镜元件（135）、所述第二镜元件（140）和所述第三镜元件（145）串联地布置在所述光路（120）中，并且其中，所述第三镜元件（145）与所述第四镜元件（610）之间的第三间距（615）能够被改变。

11.光谱仪（100），其具有根据上述权利要求中任一项所述的干涉仪元件（125）、用于提供穿过所述干涉仪元件（125）的光束（110）的光源（105）和用于检测从所述光谱仪（100）中逸出的输出光（180）的探测器（190）。