[发明专利]用于制造电声谐振器的方法以及电声谐振器设备

权利要求书

1.一种用于制造电声谐振器的方法，包括以下步骤：

-提供包括电介质层(110)的工件；

-在所述工件的所述电介质层上形成金属电极(111)；

-提供包含贵金属的盐的溶液；

-将在其上设置有所述金属电极的所述工件沉浸入所述溶液中，以在所述金属电极上沉积一层(210)所述贵金属；

-在所述金属电极上形成压电层(320)。

2.根据权利要求1所述的方法，其中将所述工件沉浸入所述溶液中的步骤包括：执行电化学镀过程，以在所述金属电极上沉积所述贵金属的所述层(210)。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中提供工件的步骤包括：提供布拉格反射镜层堆叠(300)，所述布拉格反射镜层堆叠(300)包括在它的表面处的电介质层(310)。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述电介质层(110)包括一层氧化硅或二氧化硅。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的方法，其中所述金属电极(111)的所述金属包括以下中的至少一个：钨、钼、钛、铝以及铜。

6.根据权利要求1至4中的任一项所述的方法，其中形成金属电极(111)的步骤包括：形成选自钨、钼、钛、铝以及铝和铜的组合中的一个的金属的金属电极。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的方法，其中所述贵金属包括以下中的至少一个：铂、钯、钌以及镍。

8.根据权利要求1至7中的任一项所述的方法，其中所述贵金属的所述盐包括以下中的至少一个：

六氯铂酸钠(II)或Na₂PtCl₆，

六氯铂酸钾(II)或K₂PtCl₆，

四氯钯酸钠(II)或Na₂PdCl₄，

四氯钯酸钾(II)或K₂PdCl₄，

六氯钯酸钾(IV)或K₂PdCl₆，

氯化钌(III)水合物或RuCl₃·3H₂O，

氯化镍(II)，以及

硫酸镍(II)。

9.根据权利要求1至8中的任一项所述的方法，其中所述溶液还包含肼或另一还原剂。

10.根据权利要求1至9中的任一项所述的方法，包括：选择性地在所述金属电极(111)上沉积一层(210)所述贵金属，而不在所述电介质层(112)的所述表面上沉积一层所述贵金属。

11.根据权利要求1至10中的任一项所述的方法，其中形成压电层(320)的步骤包括：在所述贵金属的所述层上形成氮化铝层或氮化铝钪层。

12.根据权利要求1至10中的任一项所述的方法，其中形成压电层(320)的步骤包括：在所述贵金属的所述层上形成氮化铝层或氮化铝钪层，其中所述氮化铝钪层包括多于5at-％或多于10at-％的钪或在10at-％和40at-％之间的钪。