[发明专利]转换构件以及具有转换构件的接头

说明书

转换接头的第一周壁端部隔着密封垫圈与筒状主体连接。第一周壁端部的环状突起被压入形成于密封垫圈的侧面的环状槽，或者，从密封垫圈的侧面突出的环状突起被压入第一周壁端部的环状槽。筒状主体的外螺纹形成部被拧入第一周壁端部的内螺纹形成部，或者，第一周壁端部的外螺纹形成部和筒状主体的外螺纹形成部被拧入共通的螺母。在螺母被拧入转换接头的第二周壁端部的外螺纹形成部时，套筒与该外螺纹形成部的内侧接触。

技术领域

本发明涉及接头等，尤其是涉及利用套筒连接管的接头。

背景技术

在半导体工艺中，在向晶片涂敷抗蚀剂、晶片的清洗等时使用各种药液。在半导体装置的生产线中包括处理这些药液的管、接头、阀、泵等配管设备。作为该配管设备的特征，列举有与药液直接接触的部分全部由氟树脂构成以及清洗等的维护工作相对频繁。前者的目的在于防止因金属污染引起的半导体的结晶缺陷以及电特性的劣化，后者的目的在于防止因微粒引起的布线加工不良以及因有机物引起的成膜异常。基于这些特征，该配管设备除了高密封性之外，还需要容易地组装与分解。

例如在专利文献1中公开的接头使用套筒来用于管的连接。由此，假使分解之后重新构成也保持高密封性。套筒与接头主体相同，由氟树脂制成，一侧的周壁端被压入管的开口端，另一侧的周壁端与接头主体的周壁端形成密封结构。在该密封结构中，套筒的周壁端例如包括从全周向轴向突出的环状突起。该环状突起被压入形成于接头主体的周壁端的周向的环状槽。套筒的周壁端还包括周向的环状槽。从接头主体的周壁端的全周向轴向突出的环状突起被压入该环状槽。由于突起比槽的径向宽度稍大，从而在径向上与槽无间隙地压接。其结果，维持了高密封性。当管与接头分离时，套筒与管被一起卸下。由此，与管直接连接至接头主体的情况相比，管的分离与之后的重新连接更容易。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利5883907号公报

发明内容

发明要解决的问题

随着半导体工艺变得多阶段化，配管设备复杂化。为了避免伴随于此的半导体的生产线过大规模化，需要使配管设备更小型化。作为满足该要求的改进之一，对于在泵、阀、传感器等设备之间连接开口部(吸入口、出口)时的接头，尝试如下简化。包括外螺纹形成部(在外周面形成螺纹的圆筒形状的结构体)的接头主体同轴地设置在各设备的开口部。若一方的外螺纹形成部为右旋螺纹，则另一方的外螺纹形成部为左旋螺纹。两方的外螺纹形成部以在其中间夹着密封垫圈的方式拧入单个螺母。该螺母在内周面的一侧包括右旋内螺纹，在相反一侧包括左旋内螺纹。由此，该螺母能够同时拧入两方的接头主体的外螺纹形成部。以这种方式，两个外螺纹形成部的内部空间被连通，从而作为设备之间的流路使用。

由于该接头是由两个外螺纹形成部以及单个螺母和密封垫圈构成的简单的结构，因此易于小型化。然而，其相反一面，该接头在主体的外螺纹为左旋螺纹的情况下，不能与用于连接管的现有的接头连结。这是因为现有的接头通常为右旋螺纹。

本发明的目的在于，解决上述问题，尤其是提供一种转换构件，能够在将设备间连接用的接头维持为简单的结构的情况下，将管连接用的现有的接头与该接头连接，并且能够维持它们之间的高密封性。

解决问题的技术方案

本发明的第一技术方案的转换构件是用于将在开口端压入有套筒的管以及在内侧包括套筒和管的螺母与接头的筒状主体连接的圆筒构件，其中，所述转换构件包括：第一周壁端部，隔着密封垫圈与筒状主体连接；以及第二周壁端部，与套筒和螺母连接。第一周壁端部包括周向的环状槽以及内螺纹形成部，第二周壁端部包括外螺纹形成部。从密封垫圈的侧面向轴向突出的环状突起被压入第一周壁端部的环状槽。设置于筒状主体的周壁端部的外螺纹形成部被拧入第一周壁端部的内螺纹形成部，螺母拧入第二周壁端部的外螺纹形成部。