[发明专利]用于延长目标材料递送系统寿命的装置和方法

权利要求书

1.一种用于生成EUV辐射的装置，包括：

目标材料分配器，所述目标材料分配器包括限定腔体和孔口的结构，所述腔体被布置为接收目标材料，所述孔口被布置为从所述腔体接收目标材料，并递送目标材料的液滴流；

电可致动元件，所述电可致动元件机械地耦合到所述腔体，并且被布置为基于驱动信号在所述液滴流中引起速度扰动；以及

驱动信号生成器，所述驱动信号生成器电耦合到所述电可致动元件以用于供应所述驱动信号，

与所述电可致动元件相连的电连接件，所述电连接件被布置为控制流过所述孔口处的所述目标材料的电流的量。

2.根据权利要求1所述的装置，其中与所述电可致动元件相连的电连接件被布置为在所述电可致动元件与接地之间提供低阻抗路径，所述低阻抗路径不穿过所述孔口处的所述目标材料。

3.根据权利要求1所述的装置，其中限定腔体的所述结构包括圆柱形管，并且所述电可致动元件包括圆柱形压电元件，所述圆柱形压电元件围绕所述圆柱形管布置，并且具有通过低阻抗路径连接到接地的内表面。

4.根据权利要求3所述的装置，其中所述内表面在所述电可致动元件的、最靠近所述孔口的部分处被连接到接地。

5.根据权利要求1所述的装置，其中所述目标材料分配器还包括围绕限定腔体的所述结构的至少一部分的导电涂层。

6.根据权利要求5所述的装置，其中所述导电涂层具有小于约1E-06Ohm-m的电阻率。

7.根据权利要求5所述的装置，其中所述导电涂层被限制在所述结构的、限定包括所述孔口的区域。

8.根据权利要求5所述的装置，其中所述电可致动元件被定位成围绕所述腔体的、不具有导电涂层的第一轴向部分。

9.根据权利要求5所述的装置，其中所述导电涂层通过低阻抗路径连接到接地。

10.根据权利要求5所述的装置，还包括在所述导电涂层上的绝缘涂层。

11.根据权利要求1所述的装置，其中所述驱动信号生成器通过直接终止在所述电可致动元件处的RF同轴电缆而被电耦合到所述电可致动元件。

12.一种用于生成EUV辐射的装置，包括：

目标材料分配器，包括限定腔体和孔口的结构，所述腔体被布置为接收目标材料，所述孔口被布置为从所述腔体接收目标材料，并递送目标材料的液滴流；

电可致动元件，所述电可致动元件机械地耦合到所述腔体，并且被布置为基于驱动信号在所述液滴流中引起速度扰动；以及

驱动信号生成器，所述驱动信号生成器电耦合到所述电可致动元件以用于供应所述驱动信号，其中所述驱动信号的最高频率分量被限制在约3.5MHz至约7MHz的范围内的值。

13.根据权利要求12所述的装置，其中与所述电可致动元件相连的电连接件被布置为控制流过所述孔口处的所述目标材料的电流的量。

14.一种用于生成EUV辐射的装置，包括：

目标材料分配器，所述目标材料分配器包括限定腔体和孔口的结构，所述腔体被布置为接收目标材料，所述孔口被布置为从所述腔体接收目标材料，并递送目标材料的液滴流；

电可致动元件，所述电可致动元件机械地耦合到所述腔体，并且被布置为基于驱动信号在所述液滴流中引起速度扰动；以及

驱动信号生成器，所述驱动信号生成器电耦合到所述电可致动元件以用于供应所述驱动信号，其中所述驱动信号的最小上升/下降时间在约50ns至约100ns的范围内。