[发明专利]全息干涉法的系统和方法有效

专利信息
申请号: 201980071824.9 申请日: 2019-10-30
公开(公告)号: CN112969899B 公开(公告)日: 2023-03-10
发明(设计)人: 多夫·弗曼 申请(专利权)人: RD辛纳基有限公司
主分类号: G01B9/021 分类号: G01B9/021;G01B9/02;G03H1/04;G03H1/26
代理公司: 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 代理人: 翟羽
地址: 以色列耐*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 全息 干涉 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种全息干涉仪,包括:

一成像装置,拍摄通过至少两个偏振光束所产生的一干涉图案,其中所述至少两个偏振光束具有不同的偏振,并且以不同的角度照射一物体;

一周期性结构化相位延迟组件,位于所述至少两个偏振光束中的至少一个偏振光束的一光路中,且在所述物体的一干涉图像中的一共轭场平面处;以及

一偏振器,位于所述成像装置和所述周期性结构化相位延迟组件之间,所述偏振器将所述至少两个偏振光束中的每一个偏振光束的每个偏振投射在单一轴上以在所述成像装置上产生所述干涉图案。

2.一种全息干涉仪,包括:

一成像装置,拍摄通过至少两个偏振光束所产生的一干涉图案,其中所述至少两个偏振光束是通过收集物体从不同角度反射的多个光束并对每个光束进行不同的偏振而产生的;

一周期性结构化相位延迟组件,位于所述至少两个偏振光束中的至少一个偏振光束的一光路中,且在所述物体的一干涉图像中的一共轭场平面处;以及

一偏振器,位于所述成像装置和所述周期性结构化相位延迟组件之间,所述偏振器将所述至少两个偏振光束中的每一个偏振光束的每个偏振投射在单一轴上以在所述成像装置上产生所述干涉图案。

3.根据权利要求1或2所述的全息干涉仪,其中所述周期性结构化相位延迟组件是一发射式结构化相位延迟组件。

4.根据权利要求1或2所述的全息干涉仪,其中所述周期性结构化相位延迟组件是一反射式结构化相位延迟组件。

5.根据权利要求1或2所述的全息干涉仪,其中所述周期性结构化相位延迟组件是一双折射相位延迟组件。

6.根据权利要求1或2所述的全息干涉仪,其中所述偏振器是一线性偏振器。

7.根据权利要求1或2所述的全息干涉仪,还包括至少一个半波长波片。

8.根据权利要求7所述的全息干涉仪,其中所述至少一个半波长波片包括被定位在一波片环内的一波片盘。

9.根据权利要求1或2所述的全息干涉仪,其中所述至少两个偏振光束源自一偏振光光源。

10.根据权利要求1或2所述的全息干涉仪,其中所述至少两个偏振光束源自一环境光源,并且通过一偏振器进行偏振。

11.根据权利要求1或2所述的全息干涉仪,其中所述至少两个偏振光束是通过一光圈板中的至少两个光圈所产生的。

12.根据权利要求1或2所述的全息干涉仪,还包括:

至少一个偏振光束分光器,其将一原始光束分成所述至少两个偏振光束。

13.根据权利要求12所述的全息干涉仪,其中所述至少一个偏振光束分光器将所述原始光束分成具有两个正交偏振的所述至少两个偏振光束。

14.根据权利要求1或2所述的全息干涉仪,还包括:

至少一个镜子,其改变所述至少两个偏振光束中的至少一个光束与原始光束的一原始光轴的距离,以使所述至少两个偏振光束中的每一个偏振光束在物体上形成不同的入射角。

15.一种设置全息干涉仪的方法,包括:

定位一成像装置以拍摄通过至少两个偏振光光束所产生的一干涉图案,其中所述至少两个偏振光束具有不同的偏振,并且以不同的角度照射一物体;

将一周期性结构化相位延迟组件定位在所述至少两个偏振光束的至少一个偏振光束的一光路中,且在所述物体的一干涉图像中的一共轭场平面处;以及

将一偏振器定位在所述成像装置前面,使得所述偏振器将所述至少两个偏振光束的偏振投射在单一轴上。

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