[发明专利]图像处理方法以及图像处理装置在审
申请号: | 201980071985.8 | 申请日: | 2019-08-26 |
公开(公告)号: | CN113016052A | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 小林真二 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | H01J37/22 | 分类号: | H01J37/22;G06T7/00;H01L21/66 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 舒艳君;王海奇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 图像 处理 方法 以及 装置 | ||
本发明涉及图像处理方法以及图像处理装置。是处理图像的图像处理方法,具有:(A)获取多个帧图像的步骤,该帧图像是通过对拍摄对象用一次荷电粒子线扫描而获得的;(B)根据多个上述帧图像按每个像素判定亮度的概率分布的步骤;以及(C)生成拍摄对象的图像的步骤,该拍摄对象的图像相当于对基于每个像素的上述亮度的概率分布所生成的多个另外帧图像进行平均化得到的图像。
技术领域
本公开涉及图像处理方法以及图像处理装置。
背景技术
在专利文献1公开了如下方法:是使电子束扫描晶片上的图案来获得图像的方法,通过将在多个帧中获取的信号累计来形成S/N比高的图像。
专利文献1:日本特开2010-92949号公报。
发明内容
本公开所涉及的技术进一步减少对拍摄对象扫描荷电粒子线获得的图像中的噪声。
本公开的一个方式是处理图像的图像处理方法,具有:(A)获取多个帧图像的步骤,上述帧图像是通过对拍摄对象的一次荷电粒子线的扫描而获得的;(B)根据多个上述帧图像按每个像素判定亮度的概率分布的步骤;以及(C)生成拍摄对象的图像的步骤,上述拍摄对象的图像相当于对基于每个像素的上述亮度的概率分布所生成的多个另外帧图像进行平均化得到的图像。
根据本公开,能够进一步减少对拍摄对象扫描荷电粒子线获得的图像中的噪声。
附图说明
图1是表示每个实际的帧图像中的特定像素的亮度的图。
图2是关于256帧全部的、X坐标与特定像素一致的像素全部,对亮度进行直方图化的图。
图3是表示包括第一实施方式所涉及的作为图像处理装置的控制装置的处理系统的结构的概略的图。
图4是表示控制部的图像处理所涉及的结构的概略的框图。
图5是说明图4的控制部中的处理的流程图。
图6示出对256帧的帧图像进行平均化得到的图像。
图7示出对基于用于图6的图像生成的256帧的帧图像所生成的256帧的人工帧图像进行平均化得到的人工图像。
图8是表示从256的帧图像生成的人工图像中的频率解析结果的图,示出频率与振动能量的关系。
图9是表示从256的帧图像生成的人工图像中的频率解析结果的图,示出帧数与高频成分的噪声电平的关系。
图10是对256张的过程噪声为零的虚拟的帧图像进行平均化得到的图像。
图11示出基于用于图10的图像生成的256帧的上述虚拟的帧图像来生成256帧的人工帧图像,并对这些人工帧图像进行平均化得到的人工图像。
图12是表示从256张的过程噪声为零的虚拟的帧图像生成的人工图像中的频率解析结果的图,示出频率与振动能量的关系。
图13是表示从256张的过程噪声为零的虚拟的帧图像生成的人工图像中的频率解析结果的图,示出帧数与高频成分的噪声电平的关系。
图14是表示从256的帧图像生成的人工图像中的其它频率解析结果、亦即将人工图像生成时的人工帧图像的帧数设为256以下时的结果的图,示出频率与振动能量的关系。
图15是表示从256的帧图像生成的人工图像中的其它频率解析结果、亦即将人工图像生成时的人工帧图像的帧数设为256以下时的结果的图,示出帧数与高频成分的噪声电平的关系。
图16示出用于人工图像的生成的原帧图像以及人工帧图像的帧数都为256的情况下的、每个帧图像以及每个人工帧图像的亮度的面内平均值的一个例子。
图17是表示对从256帧的帧图像生成的人工帧图像进行亮度调整,从该亮度调整后的人工帧图像生成的人工图像中的频率解析结果的图。
图18是表示使用使从256帧的帧图像生成的人工帧图像移位后的帧图像所生成的人工图像中的频率解析结果的图。
图19示出通过第四实施方式所涉及的方法生成的无限帧的人工图像。
图20是表示第五实施方式所涉及的控制部的图像处理所涉及的结构的概略的框图。
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