[发明专利]阻抗测定装置

说明书

本发明分别测定Hi侧和Lo侧的各个源极端子及Hi侧和Lo侧的各个感测极端子相对于测定对象的接触电阻。测定用信号源(2)的电源系统的第一接地(G1)与测定部(3A)的电源系统中的第二接地(G2)被电分离，测定部(3A)除了具备用于检测测定对象(DUT)的内部电阻(Rx)的第四检测部(25A)以外，还具备用于检测各个接触电阻(R_HC、R_LC、R_HP、R_LP)的检查用信号源(21)、第一检测部(22A)、第二检测部(23A)、第三检测部(24A)以及第五检测部(26A)。此外，处理部(27)基于从第一检测部(22A)～第五检测部(26A)输出的第一检测电压(Vd1)～第五检测电压(Vd5)，计算(检测)内部电阻(Rx)以及各个接触电阻(R_HC、R_LC、R_HP、R_LP)。

技术领域

本发明涉及一种具有连接到测定对象的一对源极端子(电流供给端子)以及一对感测端子(电压检测端子)的四线式的(通过四端子法测定阻抗)阻抗测定装置。

背景技术

例如，作为这种阻抗测定装置，已知有下述专利文件1中所公开的各种阻抗测定装置。该阻抗测定装置中的一个阻抗测定装置包括：测定用信号源，该测定用信号源经由Hi侧和Lo侧的信号提供用的各个源极端子来向测定对象(被测定试料)提供交流的测定信号；测定部，该测定部经由Hi侧和Lo侧的信号检测用的各个感测端子来测定由该测定信号在测定对象中产生的电压；第一断线检测单元，该第一断线检测单元用于检测Hi侧的源极端子和Hi侧的感测端子相对于测定对象的连接状态；以及第二断线检测单元，该第二断线检测单元用于检测Lo侧的源极端子和Lo侧的感测端子相对于测定对象的连接状态。此外，第一断线检测单元包括：第一直流恒定电流源，该第一直流恒定电流源用于向包含Hi侧的源极端子和Hi侧的感测端子在内的Hi侧电流路径提供直流恒定电流；以及第一比较器，该第一比较器用于将第一直流恒定电流源的振幅与规定的第一基准电压进行比较，并且输出判定信号。此外，第二断线检测单元包括：第二直流恒定电流源，该第二直流恒定电流源用于向包含Lo侧的源极端子和Lo侧的感测端子在内的Lo侧电流路径提供直流恒定电流；以及第二比较器，该第二比较器用于将第二直流恒定电流源的振幅与规定的第二基准电压进行比较，并且输出判定信号。

此外，其他阻抗测定装置包括：测定用信号源，该测定用信号源经由用于提供Hi侧和Lo侧的信号的各个源极端子来向测定对象(被测定试料)提供交流的测定信号；以及测定部，该测定部经由用于检测Hi侧和Lo侧的信号的各个感测端子来测定由该测定信号在测定对象中产生的电压。此外，在阻抗测定装置中，测定用信号源和测定部分别具有接地被电分离的电源系统，并且测定部包括在Hi侧的感测端子和Lo侧的感测端子之间提供断线检测用的交流恒定电流的断线检测用交流恒定电流源、和通过断线检测用交流恒定电流来对在各个感测端子中产生的电压进行检测的电压检测单元。

根据这些阻抗测定装置中的前一个阻抗测定装置，包括上述结构的第一断线检测装置和第二断线检测装置，由此，即使在测定过程中，也能够进行各个端子的断线检测(检测Hi侧的源极端子和Hi侧的感测端子相对于测定对象的连接状态、以及检测Lo侧的源极端子和Lo侧的感测端子相对于测定对象的连接状态)。此外，根据前一个阻抗测定装置，包括上述结构的断线检测用交流恒定电流源以及电压检测装置，由此，即使在测定过程中，也能够进行各个端子的断线状态(检测Hi侧的感测端子和Lo侧的感测端子相对于测定对象的连接状态)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2006－322821号公报(第7－9页、图1、图4)

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，上述的两个阻抗测定装置中，能够检测作为一对端子整体相对于测定对象的连接状态，但在两个阻抗测定装置中，存在有不能检测该一对端子中的每一个相对于测定对象的连接状态这样的需要改进的问题。